MOCVD-satelliitin pidikelevy

Semicorex MOCVD Satellite Holder Plate on erinomainen teline, joka on suunniteltu käytettäväksi puolijohdeteollisuudessa. Sen korkea puhtaus, erinomainen korroosionkestävyys ja tasainen lämpöprofiili tekevät siitä erinomaisen valinnan niille, jotka etsivät alustaa, joka kestää puolijohteiden valmistusprosessin vaatimukset. Olemme sitoutuneet tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia tuotteita, jotka täyttävät heidän erityisvaatimukset. Ota yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja MOCVD-satelliittipidikelevystämme ja siitä, kuinka voimme auttaa sinua puolijohteiden valmistustarpeissa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorex MOCVD Satellite Holder Plate on korkealaatuinen teline, joka on suunniteltu käytettäväksi puolijohdeteollisuudessa. Tuotteemme on päällystetty erittäin puhtaalla piikarbidilla grafiitilla, mikä tekee siitä erittäin kestävän hapettumista korkeissa lämpötiloissa jopa 1600°C:een. Sen valmistuksessa käytetty CVD-kemiallinen höyrypinnoitusprosessi varmistaa korkean puhtauden ja erinomaisen korroosionkestävyyden, mikä tekee siitä ihanteellisen käytettäväksi puhdastilaympäristöissä.
MOCVD-satelliittipidikelevymme ominaisuudet ovat vaikuttavia. Sen tiheä pinta ja hienot hiukkaset parantavat sen korroosionkestävyyttä tehden siitä kestävän happoa, alkalia, suolaa ja orgaanisia reagensseja. Tämä teline on erittäin vakaa jopa äärimmäisissä ympäristöissä, joten se on erinomainen valinta niille, jotka etsivät telinettä, joka kestää puolijohdeteollisuuden vaatimukset.

MOCVD-satelliitin pidikelevyn parametrit

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC p-vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Raekoko	μm	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J kg-1 K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin Modulus	Gpa (4 pt bend, 1300 ℃)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtavuus	(W/mK)	300

SiC Coated Graphite Susceptorin ominaisuudet MOCVD:lle

- Vältä irroitumista ja varmista, että kaikki pinnat ovat pinnoitettuja
Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys: Stabiili korkeissa lämpötiloissa aina 1600°C asti
Korkea puhtaus: valmistettu CVD-kemiallisella höyrypinnoituksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa.
Korroosionkestävyys: korkea kovuus, tiheä pinta ja hienojakoisia hiukkasia.
Korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.
- Saavuta paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio
- Takaa lämpöprofiilin tasaisuus
- Estä kontaminaatio tai epäpuhtauksien leviäminen