Epitaxy-kiekon kantaja

Applmerkinnät:Semicorexin kehittämä Epitaxy Wafer Carrier on erityisesti suunniteltu käytettäväksi erilaisissa kehittyneissä puolijohteiden valmistusprosesseissa. Nämä kannattimet soveltuvat erittäin hyvin seuraaviin ympäristöihin:

Plasma-tehostettu kemiallinen höyrypinnoitus (PECVD):PECVD-prosesseissa Epitaxy Wafer Carrier on välttämätön substraattien käsittelyssä ohutkalvopinnoitusprosessin aikana, mikä varmistaa tasaisen laadun ja tasaisuuden.

Pii- ja piikarbidiepitaksi:Pii- ja piikarbidiepitaksisovelluksissa, joissa ohuita kerroksia kerrostetaan substraateille korkealaatuisten kiderakenteiden muodostamiseksi, Epitaxy Wafer Carrier säilyttää vakauden äärimmäisissä lämpöolosuhteissa.

Metalli-orgaanisen kemiallisen höyrypinnoituksen (MOCVD) yksiköt:MOCVD-yksiköt, joita käytetään yhdistepuolijohdelaitteiden, kuten LEDien ja tehoelektroniikan, valmistukseen, vaativat kantoaaltoja, jotka kestävät prosessille ominaisia ​​korkeita lämpötiloja ja aggressiivisia kemiallisia ympäristöjä.

Edut:

Vakaa ja tasainen suorituskyky korkeissa lämpötiloissa:

Isotrooppisen grafiitin ja piikarbidin (SiC) pinnoitteen yhdistelmä tarjoaa poikkeuksellisen lämpöstabiilisuuden ja tasaisuuden korkeissa lämpötiloissa. Isotrooppinen grafiitti tarjoaa tasaiset ominaisuudet kaikkiin suuntiin, mikä on ratkaisevan tärkeää lämpörasituksen alaisena käytettävän Epitaxy Wafer Carrierin luotettavan suorituskyvyn varmistamiseksi. SiC-pinnoite auttaa säilyttämään tasaisen lämmönjakauman, ehkäisemään kuumia kohtia ja varmistamaan, että kantaja toimii luotettavasti pitkiä aikoja.

Parannettu korroosionkestävyys ja pidennetty komponenttien käyttöikä:

SiC-pinnoite kuutiomaisella kiderakenteella tuottaa tiheästi pinnoitekerroksen. Tämä rakenne parantaa merkittävästi Epitaxy Wafer Carrierin kestävyyttä syövyttäviä kaasuja ja kemikaaleja vastaan, joita tyypillisesti kohdataan PECVD-, epitaksi- ja MOCVD-prosesseissa. Tiheä piikarbidipinnoite suojaa alla olevaa grafiittisubstraattia hajoamiselta, mikä pidentää kantajan käyttöikää ja vähentää vaihtojen tiheyttä.

Optimaalinen pinnoitteen paksuus ja peittokyky:

Semicorex hyödyntää pinnoitustekniikkaa, joka varmistaa vakio SiC pinnoitepaksuuden 80-100 µm. Tämä paksuus on optimaalinen tasapainon saavuttamiseksi mekaanisen suojan ja lämmönjohtavuuden välillä. Tekniikka varmistaa, että kaikki altistuvat alueet, mukaan lukien monimutkaiset geometriset alueet, ovat tasaisesti pinnoitettuja ja säilyttävät tiiviin ja jatkuvan suojakerroksen jopa pienissä, monimutkaisissa kohteissa.

Erinomainen tartunta- ja korroosiosuojaus:

Imeytymällä ylempään grafiittikerrokseen SiC-pinnoitteella Epitaxy Wafer Carrier saavuttaa poikkeuksellisen tarttuvuuden alustan ja pinnoitteen välillä. Tämä menetelmä ei ainoastaan ​​takaa, että pinnoite pysyy ehjänä mekaanisessa rasituksessa, vaan myös parantaa korroosiosuojaa. Tiukasti sidottu piikarbidikerros toimii esteenä ja estää reaktiivisia kaasuja ja kemikaaleja pääsemästä grafiittiytimeen ja säilyttää siten kantajan rakenteellisen eheyden pitkäaikaisessa altistuksessa ankarille käsittelyolosuhteille.

Mahdollisuus päällystää monimutkaisia ​​geometrioita:

Semicorexin käyttämä edistyksellinen pinnoitustekniikka mahdollistaa SiC-pinnoitteen tasaisen levittämisen monimutkaisille geometrioille, kuten pienille umpirei'ille, joiden halkaisija on jopa 1 mm ja syvyys yli 5 mm. Tämä ominaisuus on kriittinen Epitaxy Wafer Carrierin kattavan suojan varmistamiseksi jopa alueilla, jotka ovat perinteisesti haastavia pinnoittaa, mikä estää paikallista korroosiota ja hajoamista.

Erittäin puhdas ja hyvin määritelty piikarbidipinnoitteen käyttöliittymä:

Piistä, safiirista, piikarbidista (SiC), galliumnitridistä (GaN) ja muista materiaaleista valmistettujen kiekkojen käsittelyssä piikarbidin pinnoitepinnan korkea puhtaus on keskeinen etu. Tämä Epitaxy Wafer Carrier -levyn erittäin puhdas pinnoite estää kontaminoitumisen ja säilyttää kiekkojen eheyden korkean lämpötilan käsittelyn aikana. Hyvin määritelty rajapinta varmistaa, että lämmönjohtavuus on maksimoitu, mikä mahdollistaa tehokkaan lämmönsiirron pinnoitteen läpi ilman merkittäviä lämpöesteitä.

Toimii diffuusioesteenä:

Epitaxy Wafer Carrierin SiC-pinnoite toimii myös tehokkaana diffuusioesteenä. Se estää epäpuhtauksien imeytymisen ja desorption alla olevasta grafiittimateriaalista, mikä ylläpitää puhtaan käsittelyympäristön. Tämä on erityisen tärkeää puolijohteiden valmistuksessa, jossa pienetkin epäpuhtaudet voivat vaikuttaa merkittävästi lopputuotteen sähköisiin ominaisuuksiin.