Epitaksiaalinen kiekkovene

Semicorex tarjoaa kiekkoveneitä, jalustoja ja mukautettuja kiekkotelineitä sekä pysty-/pylväs- että vaakakokoonpanoihin. Olemme olleet piikarbidipinnoituskalvojen valmistaja ja toimittaja useiden vuosien ajan. Epitaxial Wafer Boatillamme on hyvä hintaetu ja se kattaa suurimman osan Euroopan ja Amerikan markkinoista. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorex Epitaxial Wafer Boat, täydellinen ratkaisu kiekkojen käsittelyyn puolijohteiden valmistuksessa. Epitaksiaaliset kiekkoveneemme on valmistettu korkealaatuisesta piikarbidi (SiC) keramiikasta, joka kestää erinomaisesti korkeita lämpötiloja ja kemiallista korroosiota.
Piikarbidista valmistettu Epitaxial Wafer Boat -veneessämme on sileä pinta, joka minimoi hiukkasten muodostumisen ja varmistaa tuotteidesi korkeimman puhtaustason. Erinomaisen lämmönjohtavuuden ja erinomaisen mekaanisen lujuuden ansiosta veneemme tarjoavat tasaisia ja luotettavia tuloksia.
Epitaksiaaliset kiekkoveneemme ovat yhteensopivia kaikkien standardikiekon käsittelylaitteiden kanssa ja kestävät jopa 1600 °C:n lämpötiloja. Niitä on helppo käsitellä ja puhdistaa, mikä tekee niistä kustannustehokkaan ja tehokkaan valinnan valmistustarpeisiisi.
Asiantuntijatiimimme on sitoutunut tarjoamaan parasta laatua ja parasta palvelua. Tarjoamme räätälöityjä malleja, jotka vastaavat erityisvaatimuksiasi, ja tuotteidemme taustalla on laadunvarmistusohjelmamme.

Epitaksiaalisen kiekkoveneen parametrit

Tekniset ominaisuudet
Indeksi	Yksikkö	Arvo
Materiaalin nimi		Reaktiosintrattu piikarbidi	Paineton sintrattu piikarbidi	Uudelleenkiteytetty piikarbidi
Koostumus		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkkitiheys	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Taivutusvoima	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Puristusvoima	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Kovuus	Painike	2700	2800	/
Sitkeys rikkoo	MPa m1/2	4.5	4	/
Lämmönjohtavuus	W/m.k	95	120	23
Lämpölaajenemiskerroin	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Ominaislämpö	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Max lämpötila ilmassa	℃	1200	1500	1600
Elastinen moduuli	Gpa	360	410	240

Ero SSiC:n ja RBSiC:n välillä:

1. Sintrausprosessi on erilainen. RBSiC:n tarkoituksena on tunkeutua vapaasti piikarbidiin alhaisessa lämpötilassa, SSiC muodostuu luonnollisella kutistumalla 2100 asteessa.

2. SSiC:llä on tasaisempi pinta, suurempi tiheys ja suurempi lujuus. Joillekin tiivisteille, joilla on tiukemmat pintavaatimukset, SSiC on parempi.

3. Erilainen käyttöaika eri pH:ssa ja lämpötilassa, SSiC on pidempi kuin RBSiC

Silicon Carbide Epitaxial Wafer Boatin ominaisuudet

Erittäin puhdas piikarbidi, päällystetty MOCVD:llä
Erinomainen lämmönkestävyys ja lämmön tasaisuus
Hieno SiC-kidepinnoitettu sileäksi pinnaksi
Korkea kestävyys kemiallista puhdistusta vastaan
Materiaali on suunniteltu siten, että halkeamia ja delaminaatiota ei tapahdu.