Epi-SiC-reseptori

Semicorex Epi-SiC Susceptor on korkeiden lämpötilojen kestävyyden, kemiallisen inerttisyyden ja erinomaisen lämpödiffuusion yhtymäkohta. Se on joustavuuden ja tehokkuuden esikuva intensiivisissä olosuhteissa, jotka ovat synonyymi epitaksiaalisen kasvun pyrkimyksille. SiC-pinnoitteen käyttö lisää merkittävästi Epi-SiC Susceptorin lämpöominaisuuksia. Tämä parannus mahdollistaa tasaisen lämmönjakauman, joka on välttämätön kiekkojen lämmittämiselle, mikä on keskeistä johdonmukaisten, korkealaatuisten epitaksiaalisten kerrosten levittämisessä puolijohdekiekkojen yli.

Räätälöity vastaamaan kiekkojen epitaksiaalisten prosessien vaativiin vaatimuksiin, Epi-SiC Susceptor tukee kiekkojen saumatonta kuljetusta uuniympäristössä. Sen vankka rakenne suojaa kiekkojen siirtymistä tai kompromisseja, mikä vähentää vaurioiden esiintymistä epitaksiaalikerroksen kehityksen kriittisissä vaiheissa. Lisäksi Epi-SiC Susceptor toimii suojaavana esteenä alla olevalle grafiittisubstraatille ja suojaa sitä kemiallisilta vuorovaikutuksilta ja hankaukselta, joita epitaksiaaliset prosessit voivat aiheuttaa.

Kimmoisan grafiittiytimen ja suojaavan SiC-pinnoitteen yhdistäminen ei ainoastaan ​​vahvista Epi-SiC Susceptorin suorituskykymittareita, vaan myös pidentää merkittävästi sen käyttöikää. Tuloksena on investointi, joka tuottaa osinkoja jatkuvien toiminnallisten säästöjen muodossa puolijohdetuotantoyhtiöille, mikä tekee Epi-SiC Susceptorista järkevän valinnan niille, jotka haluavat optimoida tuotantonsa.