Sähköstaattinen istukka ESC

Semicorex Elektrostaattinen istukka ESC toimii sähköstaattisen adheesion periaatteella hyödyntäen korkeajännitteistä tasavirtaa (DC), joka on kohdistettu sen dielektriseen keraamiseen kerrokseen. Tämä tekniikka mahdollistaa kiekkojen tai muiden materiaalien turvallisen kiinnityksen käsittelyn aikana, mikä varmistaa sekä vakauden että tarkkuuden kaikissa valmistusvaiheissa.

Kun istukkaan kohdistetaan korkea tasajännite, keraamisen dielektrisen kerroksen sisällä olevat varautuneet ionit kulkeutuvat ja kerääntyvät sen pinnalle. Tämä luo voimakkaan sähköstaattisen kentän istukan ja käsiteltävän tuotteen välille. Syntyvä sähköstaattinen vetovoima on riittävän vankka pitämään kiekon paikallaan, mikä varmistaa, että se pysyy liikkumattomana myös monimutkaisissa ja erittäin tarkoissa toimissa. Tämä turvallinen pito on kriittinen, koska se auttaa vähentämään mikroliikkeitä ja tärinää, jotka voivat vaarantaa käsiteltyjen kiekkojen laadun ja eheyden. Mahdollisuus kiinnittää kiekot minimaalisella mekaanisella kosketuksella estää myös fyysiset vauriot, mikä on selvä etu perinteisiin kiinnitysmenetelmiin verrattuna.

J-R-tyypin sähköstaattinen istukka ESC on varustettu sisäänrakennetuilla elektrodeilla, jotka ovat välttämättömiä tämän sähköstaattisen adheesion luomisessa. Nämä elektrodit on sijoitettu istukkaan sähköstaattisen voiman jakamiseksi tasaisesti kiekon tai muiden prosessoitavien materiaalien pinnalle. Tämä tasainen jakautuminen varmistaa tasaisen paineen, joka on tarpeen tasaisuuden säilyttämiseksi monimutkaisten prosessien, kuten syövytyksen, ioni-istutuksen ja kerrostuksen aikana. Sähköstaattisen istukan ESC:n tarjoama tarkka tarttuvuus mahdollistaa sen, että se mukautuu nykyaikaisen puolijohdevalmistuksen vaativiin vaatimuksiin.

Ensisijaisen tartuntatehtävänsä lisäksi sähköstaattisen istukan ESC:ssä on hienostunut lämpötilansäätöjärjestelmä. Istukka sisältää integroidut lämmityselementit, jotka on suunniteltu säätelemään käsiteltävän tuotteen lämpötilaa. Lämpötilan säätö on ratkaiseva tekijä puolijohteiden valmistuksessa, sillä pienetkin lämpötilan vaihtelut voivat vaikuttaa prosessin lopputulokseen. Sähköstaattinen istukka ESC tarjoaa usean vyöhykkeen lämpötilansäädön, joka mahdollistaa kiekon eri osien lämmittämisen tai jäähdyttämisen itsenäisesti. Tämä varmistaa, että lämpötila pysyy tasaisena kiekon koko pinnalla, mikä edistää tasaisia ​​käsittelytuloksia ja vähentää lämpövaurioiden tai vääntymisen riskiä.

Erittäin puhtaiden materiaalien käyttö sähköstaattisen istukan ESC:n rakentamisessa on toinen merkittävä ominaisuus. Tähän istukkaan valitut materiaalit on suunniteltu minimoimaan hiukkaskontaminaatio, joka on kriittinen huolenaihe puolijohteiden valmistuksessa. Pienetkin hiukkaset voivat aiheuttaa vikoja valmistettavissa mikrorakenteissa, mikä johtaa saannon vähenemiseen ja mahdolliseen tuotevaurioon. Käyttämällä erittäin puhtaita materiaaleja, sähköstaattinen istukka ESC vähentää riskiä päästä epäpuhtauksia prosessointiympäristöön ja tukee näin korkealaatuista tuotantoa.

Sähköstaattinen istukka ESC vastustaa plasmaeroosiota. Monissa puolijohdeprosesseissa, erityisesti syövytyksessä ja pinnoituksessa, istukka altistetaan reaktiivisille plasmaympäristöille. Ajan myötä tämä altistuminen voi heikentää istukassa käytettyjä materiaaleja, mikä vaikuttaa sen suorituskykyyn ja käyttöikään. Sähköstaattinen istukka ESC on erityisesti suunniteltu kestämään plasmaeroosiota, mikä mahdollistaa sen rakenteellisen eheyden ja suorituskyvyn säilyttämisen myös ankarissa käsittelyympäristöissä. Tämä kestävyys tarkoittaa pidempää käyttöikää, mikä vähentää toistuvien vaihtojen tarvetta ja minimoi tuotantolinjan seisokit.

Sähköstaattisen istukan ESC:n mekaaniset ominaisuudet ovat myös ratkaisevan tärkeitä. Istukka on valmistettu äärimmäisen tiukoilla toleransseilla, mikä varmistaa, että se säilyttää tarkan muodon ja mitat, joita sen käyttötarkoituksessa vaaditaan. Tarkkuustyöstötekniikoilla saavutetaan vaadittu pinnan tasaisuus ja sileys, jotka ovat välttämättömiä tasaisen sähköstaattisen tarttuvuuden varmistamiseksi ja herkkien kiekkojen vaurioitumisriskin minimoimiseksi. Istukan mekaaninen lujuus on yhtä vaikuttava, joten se kestää korkean lämpötilan ja korkean paineen prosessien aikana syntyviä fyysisiä rasituksia ilman, että se vääntyy tai menetä kykyään pitää kiekko turvallisesti.