Alumiininitridi keraaminen istukka

Alumiininitridikeraaminen istukka edustaa huippuluokan ratkaisua puolijohdekiekkojen käsittelyyn, joka on erityisesti suunniteltu pitämään kiekot tukevasti paikoillaan valmistuksen eri vaiheissa. Tämä innovatiivinen laite, joka toimii sähköstaattisena istukana (ESC), hyödyntää alumiininitridikeramiikan poikkeuksellisia ominaisuuksia varmistaakseen tarkan ja luotettavan kiekon säilytyksen.

Semicorex-alumiininitridikeraaminen istukka käyttää sähköstaattisia voimia tarttumaan tiukasti kiekon pintaan. Tämä saavutetaan huolellisesti suunnitellulla levyllä, jossa on kiinteät elektrodit, jotka on strategisesti esijännitetty korkealla jännitteellä. Tämän seurauksena levyn ja kiekon väliin muodostuu sähköstaattinen pitovoima, joka immobilisoi kiekon tehokkaasti paikoilleen läpi käsittelyvaiheiden ajan.

Yksi alumiininitridikeraamisen istukan erottuvista ominaisuuksista on sen merkittävä yhdistelmä korkeaa lämmönjohtavuutta ja eristysominaisuuksia. Tämä ainutlaatuinen ominaisuuksien yhdistelmä tekee siitä ihanteellisen materiaalivalinnan ESC-sovelluksiin. Korkea lämmönjohtavuus varmistaa tehokkaan lämmönpoiston, mikä on ratkaisevan tärkeää tasaisen lämpötilan jakautumisen ylläpitämiseksi kiekon yli käsittelyn aikana. Samalla sen poikkeukselliset eristysominaisuudet tarjoavat sähköisen eristyksen istukan ja kiekon välillä minimoiden sähköhäiriöiden tai herkkien puolijohdekomponenttien vaurioitumisen riskin.

Alumiininitridikeraaminen istukka tarjoaa useita etuja perinteisiin istukkamateriaaleihin verrattuna. Sen vankka rakenne takaa pitkän aikavälin kestävyyden ja pystyy kestämään puolijohteiden valmistusympäristöjen tiukat vaatimukset. Lisäksi sen yhteensopivuus korkeiden lämpötilojen prosessien kanssa ja lämpölaajenemiskestävyys tekevät siitä välttämättömän työkalun tasaisten ja laadukkaiden kiekkojen käsittelytulosten saavuttamiseksi.