Alumiininitridi sähköstaattiset istukat

Alumiininitridielektrostaattiset istukat käyttävät sähköstaattisia voimia pitämään kiekkoja turvallisesti erilaisten puolijohteiden valmistusprosessien aikana. Tämä menetelmä eliminoi mekaanisten puristimien tai tyhjiöjärjestelmien tarpeen, mikä vähentää hiukkasten muodostumisen ja mekaanisen rasituksen riskiä herkissä kiekoissa. Yksi alumiininitridielektrostaattisten istukkaiden tärkeimmistä eduista on niiden kyky tuottaa erittäin tasainen ja vakaa sähköstaattinen voima koko kiekon pinnalla. Tämä varmistaa johdonmukaisen kosketuksen ja estää kiekkojen liukumisen tai muodonmuutoksen prosessoinnin aikana, mikä johtaa kerrostuneiden kalvojen, syövytettyjen ominaisuuksien ja muiden kriittisten parametrien parempaan tasaisuuteen. Tämä tasainen puristusvoima myös minimoi kiekkojen vääristymisen, mikä parantaa laitteen suorituskykyä ja tuottoa.

Mitä tulee sen lämpöominaisuuksiin, alumiininitridielektrostaattisten istukkaiden korkea lämmönjohtavuus mahdollistaa tehokkaan lämmönpoiston korkean lämpötilan prosesseissa, mikä estää lämpörasituksen ja varmistaa tasaisen lämpötilan jakautumisen kiekon yli. Tämä on kriittistä sovelluksissa, kuten nopeassa lämpökäsittelyssä ja plasmaetsauksessa, joissa paikallinen kuumennus voi vaikuttaa negatiivisesti laitteen suorituskykyyn. Lisäksi puolijohteiden valmistusprosessiin liittyy usein nopeita lämpötilamuutoksia. Alumiininitridielektrostaattisten istukkaiden korkea lämpöiskunkestävyys antaa sen kestää näitä äkillisiä lämpötilan muutoksia ilman hajoamista tai halkeilua, mikä varmistaa istukan pitkäikäisyyden ja luotettavan suorituskyvyn pitkäaikaisessa käytössä. Lisäksi AlN:llä on lämpölaajenemiskerroin (CTE), joka vastaa läheisesti piikiekkojen lämpölaajenemiskerrointa. Tämä yhteensopivuus minimoi kiekon ja istukan rajapinnassa aiheutuvan jännityksen lämpösyklin aikana, mikä estää kiekon keulan, vääristymisen ja mahdolliset viat, jotka voivat vaikuttaa laitteen tuottoon ja suorituskykyyn.

AlN on mekaanisesti kestävä materiaali, jolla on korkea taivutuslujuus ja murtolujuus. Tämän luontaisen lujuuden ansiosta alumiininitridielektrostaattiset istukat kestävät mekaanisia rasituksia, joita kohdataan suuren volyymin valmistuksessa, mikä varmistaa tasaisen suorituskyvyn ja pidemmän käyttöiän. Toisaalta AlN osoittaa erinomaista kestävyyttä useille puolijohdekäsittelyssä yleisesti käytetyille kemikaaleille ja plasmalle. Sillä on myös erinomainen hapettumisenkestävyys jopa korkeissa lämpötiloissa, mikä varmistaa, että alumiininitridielektrostaattisten istukkaiden pinta pysyy koskemattomana ja kontaminoitumattomana koko käyttöiän ajan.

Semicorex-alumiininitridielektrostaattiset istukat ovat saatavilla eri kokoisina ja paksuuksina eri kiekkojen halkaisijoiden ja prosessivaatimusten mukaan. Tämä soveltuvuus tekee niistä soveltuvia monenlaisiin puolijohteiden valmistussovelluksiin tutkimuksesta ja kehityksestä suurien volyymien tuotantoon.