> Tuotteet > Keraaminen > Piikarbidi (SiC) > Kestävät tarkennusrenkaat puolijohdekäsittelyyn

Tuotteet

Uudet tuotteet

Kestävät tarkennusrenkaat puolijohdekäsittelyyn

Kestävät Semicorex-tarkennusrenkaat puolijohdekäsittelyyn on suunniteltu kestämään puolijohdekäsittelyssä käytettävien plasmaetsauskammioiden äärimmäisiä ympäristöjä. Tarkennusrenkaamme on valmistettu erittäin puhtaasta grafiitista, joka on päällystetty tiheällä, kulutusta kestävällä piikarbidipinnoitteella (SiC). SiC-pinnoitteella on korkeat korroosion- ja lämmönkestävyysominaisuudet sekä erinomainen lämmönjohtavuus. Levitämme piikarbidia ohuina kerroksina grafiitille käyttämällä kemiallista höyrypinnoitusprosessia (CVD) parantaaksemme tarkennusrenkaidemme käyttöikää.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Kestävät puolijohdekäsittelyyn tarkoitetut tarkennusrenkaamme on suunniteltu parantamaan etsauksen tasaisuutta kiekon reunan tai kehän ympärillä, minimoiden kontaminaatio ja suunnittelematon huolto. Ne ovat erittäin stabiileja nopeaan lämpökäsittelyyn (RTA), nopeaan lämpökäsittelyyn (RTP) ja kovaan kemialliseen puhdistukseen.

Semicorexilla keskitymme tarjoamaan korkealaatuisia, kustannustehokkaita kestäviä fokusrenkaita puolijohteiden käsittelyyn, asetamme etusijalle asiakastyytyväisyyden ja tarjoamme kustannustehokkaita ratkaisuja. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi, joka toimittaa korkealaatuisia tuotteita ja poikkeuksellista asiakaspalvelua.

Ota yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja kestävistä fokusrenkaistamme puolijohdekäsittelyyn.

Kestävän tarkennusrenkaan parametrit puolijohdekäsittelyyn

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC p-vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Raekoko	μm	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J kg-1 K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin Modulus	Gpa (4 pt bend, 1300 ℃)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtavuus	(W/mK)	300