Koti > Tuotteet > Keraaminen > Piikarbidi (SiC) > Kestävät tarkennusrenkaat puolijohdekäsittelyyn
Kestävät tarkennusrenkaat puolijohdekäsittelyyn

Kestävät tarkennusrenkaat puolijohdekäsittelyyn

Kestävät Semicorex-tarkennusrenkaat puolijohdekäsittelyyn on suunniteltu kestämään puolijohdekäsittelyssä käytettävien plasmaetsauskammioiden äärimmäisiä ympäristöjä. Tarkennusrenkaamme on valmistettu erittäin puhtaasta grafiitista, joka on päällystetty tiheällä, kulutusta kestävällä piikarbidipinnoitteella (SiC). SiC-pinnoitteella on korkeat korroosion- ja lämmönkestävyysominaisuudet sekä erinomainen lämmönjohtavuus. Levitämme piikarbidia ohuina kerroksina grafiitille käyttämällä kemiallista höyrypinnoitusprosessia (CVD) parantaaksemme tarkennusrenkaidemme käyttöikää.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Kestävät puolijohdekäsittelyyn tarkoitetut tarkennusrenkaamme on suunniteltu parantamaan etsauksen tasaisuutta kiekon reunan tai kehän ympärillä, minimoiden kontaminaatio ja suunnittelematon huolto. Ne ovat erittäin stabiileja nopeaan lämpökäsittelyyn (RTA), nopeaan lämpökäsittelyyn (RTP) ja kovaan kemialliseen puhdistukseen.

Semicorexilla keskitymme tarjoamaan korkealaatuisia, kustannustehokkaita kestäviä fokusrenkaita puolijohteiden käsittelyyn, asetamme etusijalle asiakastyytyväisyyden ja tarjoamme kustannustehokkaita ratkaisuja. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi, joka toimittaa korkealaatuisia tuotteita ja poikkeuksellista asiakaspalvelua.

Ota yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja kestävistä fokusrenkaistamme puolijohdekäsittelyyn.


Kestävän tarkennusrenkaan parametrit puolijohdekäsittelyyn

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot

SiC-CVD-ominaisuudet

Kristallirakenne

FCC p-vaihe

Tiheys

g/cm³

3.21

Kovuus

Vickersin kovuus

2500

Raekoko

μm

2~10

Kemiallinen puhtaus

%

99.99995

Lämpökapasiteetti

J kg-1 K-1

640

Sublimaatiolämpötila

2700

Feleksuaalinen voima

MPa (RT 4-piste)

415

Youngin Modulus

Gpa (4 pt bend, 1300 ℃)

430

Lämpölaajeneminen (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Lämmönjohtavuus

(W/mK)

300


Kestävän tarkennusrenkaan ominaisuudet puolijohdekäsittelyyn

● Erittäin puhdas grafiitti- ja piikarbidipinnoite hylkii reikiä ja pidentää käyttöikää.

● Sekä grafiittisubstraatilla että SiC-kerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.

● SiC-pinnoite levitetään ohuina kerroksina käyttöiän pidentämiseksi.



Hot Tags: Kestävät tarkennusrenkaat puolijohteiden käsittelyyn, Kiina, valmistajat, toimittajat, tehdas, räätälöity, irtotavarana, edistynyt, kestävä
Aiheeseen liittyvä luokka
Lähetä kysely
Ole hyvä ja lähetä kyselysi alla olevalla lomakkeella. Vastaamme sinulle 24 tunnin kuluessa.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept