Keraaminen kiekkoteline

Semicorex tarjoaa puolijohdelaatuista keramiikkaa OEM-puolivalmistustyökaluihisi ja kiekkojen käsittelykomponentteihin keskittyen puolijohdeteollisuuden piikarbidikerroksiin. Olemme valmistaneet ja toimittaneet keraamisia kiekkotelineitä useiden vuosien ajan. Tuotteillamme on hyvä hintaetu ja ne kattavat suurimman osan Euroopan ja Amerikan markkinoista. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Silicon Carbide Ceramic Wafer Carrier -levyillä on hyvä korroosionkestävyys ja erinomainen korkeiden lämpötilojen ja lämpöiskujen kestävyys. Korkea kimmomoduuli johtaa lisäksi erinomaiseen mittavakauteen. Lisäksi keraamisessa materiaalissa on nollahuokoisuus ja pieni huokostiheys.
Voimme käsitellä kaikenlaisia keraamisia kiekkotelineitä asiakkaiden tarpeiden mukaan.

Keraamisen kiekkotelineen parametrit

Tekniset ominaisuudet
Indeksi	Yksikkö	Arvo
Materiaalin nimi		Reaktiosintrattu piikarbidi	Paineton sintrattu piikarbidi	Uudelleenkiteytetty piikarbidi
Koostumus		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkkitiheys	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Taivutusvoima	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Puristusvoima	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Kovuus	Painike	2700	2800	/
Sitkeys rikkoo	MPa m1/2	4.5	4	/
Lämmönjohtavuus	W/m.k	95	120	23
Lämpölaajenemiskerroin	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Ominaislämpö	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Max lämpötila ilmassa	℃	1200	1500	1600
Elastinen moduuli	Gpa	360	410	240

Semicorex tuotti keraamisia kiekkojen alustaa kolmessa eri muodossa: reaktiosintrattu piikarbidi (RBSiC), paineeton sintrattu piikarbidi (SSiC) ja uudelleenkiteinen piikarbidi (R-SiC).

Ero SSiC:n ja RBSiC:n välillä:

1. Sintrausprosessi on erilainen. RBSiC:n tarkoituksena on tunkeutua vapaasti piikarbidiin alhaisessa lämpötilassa, SSiC muodostuu luonnollisella kutistumalla 2100 asteessa.

2. SSiC:llä on tasaisempi pinta, suurempi tiheys ja suurempi lujuus. Joillekin tiivisteille, joilla on tiukemmat pintavaatimukset, SSiC on parempi.

3. Erilainen käyttöaika eri pH:ssa ja lämpötilassa, SSiC on pidempi kuin RBSiC

Keraamisen kiekkotelineen ominaisuudet

Erittäin puhdasta SiC-pinnoitettua grafiittia
Erinomainen lämmönkestävyys ja lämmön tasaisuus
Hieno SiC-kidepinnoitettu sileäksi pinnaksi
Korkea kestävyys kemiallista puhdistusta vastaan
Materiaali on suunniteltu siten, että halkeamia ja delaminaatiota ei tapahdu.

Piikarbidikeramiikan saatavilla olevat muodot:

● Keraaminen tanko / keraaminen tappi / keraaminen mäntä

● Keraaminen putki / keraaminen holkki / keraaminen holkki

● Keraaminen rengas / keraaminen aluslevy / keraaminen välike

● Keraaminen levy

● Keraaminen levy / keraaminen lohko

● Keraaminen pallo

● Keraaminen mäntä

● Keraaminen suutin

● Keraaminen upokas

● Muut mukautetut keraamiset osat