Alumiininitridilämmittimet

Semicorex-alumiininitridilämmittimet ovat huipputeknisiä keraamisia lämmityselementtejä, jotka on suunniteltu sovelluksiin, jotka vaativat korkeaa lämmönjohtavuutta, sähköeristystä ja poikkeuksellista kestävyyttä. Nämä lämmittimet ovat suunniteltu alumiininitridikeraamisesta, ja ne tarjoavat nopeaa ja tasaista lämmitystä, mikä tekee niistä ihanteellisia tarkkaan ympäristöihin, kuten puolijohdeprosessointiin, lääketieteelliseen diagnostiikkaan ja edistyneisiin analyyttisiin instrumentteihin.

Alumiininitridilämmittimet ovat avainkomponentteja puolijohdeohujen kalvon laskeutumislaitteissa. Ne levitetään suoraan prosessikammioon ja suorassa kosketuksessa kiekkoon. He eivät vain kuljeta kiekoa, vaan myös varmistavat, että kiekko saa a 

Vakaa ja tasainen prosessin lämpötila. Tämä ominaisuus on välttämätön kiekkojen pinnalla oleville erittäin tarpeellisille reaktioille ja tasaisten ohutkalvojen muodostumiselle.

Tyypillisesti alumiininitridilämmittimet sisältävät keraamisen substraatin, jolla on kiekkojen kuormituspinta ja lieriömäinen tukirunko, joka tukee sitä takana. Lämmityspiirin resistiivisen lämmityspiirin lisäksi toimitetaan myös keraamisen substraatin sisä- tai pinnalla tai pinnalla sähköstaattinen istukkaelektrodi ja muut johtimet.

Ohuen kalvon laskeutumislaitteet käyttävät yleensä keraamisia materiaaleja, jotka perustuvatalumiininitridi (ALN)Koska siihen liittyy korkean lämpötilan ympäristö. Syy, miksi alumiininitridilämmittimiä suositaan puolijohteiden valmistuksessa, johtuu pääasiassa niiden ainutlaatuisista ja kemiallisista ominaisuuksista. Alumiininitridillä ei ole vain korkeaa lämmönjohtavuutta, ja se voi saavuttaa nopeaa lämmitystä ja jäähdytystä lyhyessä ajassa, mutta sillä on myös hyvä sähköeristys ja mekaaninen lujuus varmistaen lämmittimen vakauden ja luotettavuuden. Lisäksi alumiininitridin lämpölaajennuskerroin on samanlainen kuin pii, mikä auttaa vähentämään kiekkojen lämpöjännityksen vaikutusta ja parantamaan prosessin satoa.

Yleisesti ottaen,keraamiset lämmittimetkäytetään pääasiassa ohutkalvojen laskeutumislaitteissa. Koska siihen liittyy korkean lämpötilan prosesseja, käytetty keraaminen materiaali on pääasiassa alumiininitridiä; Sähköstaattisia istukkioita käytetään pääasiassa etsauslaitteissa, ja käytetty keraaminen materiaali on pääasiassa alumiinioksidia. Puolijohdeteknologian kehittymisen myötä keraamisten lämmittimien ja sähköstaattisten istukkioiden välillä on päällekkäisyys. Esimerkiksi ohutkalvojen kerrostumislaitteissa käytetyt keraamiset lämmittimet on varustettu sähköstaattisella istunnolla, joilla on kaksoiskäyttöiset lämmityksen ja sähköstaattisen adsorption. Sähköstaattiset istunnot, joita käytetään myös syövyttämislaitteisiin