6 tuuman SiC-vene

Semicorex 6 tuuman SiC Boat on edistynyt kiekkojen alusta, joka on suunniteltu optimoimaan korkean lämpötilan puolijohdekäsittelyn suorituskyky ja tehokkuus erityisesti sovelluksiin, kuten hapetukseen, diffuusioon ja muihin lämpöprosesseihin. Tämä korkealaatuisesta piikarbidista (SiC) valmistettu tuote tarjoaa vankan ratkaisun puolijohdekiekkojen pitämiseen kriittisten korkean lämpötilan toimintojen aikana, mikä tarjoaa erinomaisen lämpöstabiilisuuden, erinomaisen korroosionkestävyyden ja minimaaliset kontaminaatioriskit.

6 tuuman SiC Boat on valmistettu erittäin puhtaasta piikarbidista (SiC), materiaalista, joka tunnetaan erinomaisista lämpöominaisuuksistaan, kemikaalien kestävyydestään ja kestävyydestään ankarissa olosuhteissa. Piikarbidia käytetään laajalti puolijohteiden valmistuksessa sen korkean sulamispisteen (noin 2700 °C) vuoksi, mikä tekee siitä ihanteellisen korkean lämpötilan sovelluksiin, kuten kiekkojen käsittelyyn hapetus- ja diffuusiouuneissa. Veneen rakenne takaa erinomaisen rakenteellisen eheyden ja tasaisen lämmönjakauman, mikä on ratkaisevan tärkeää tasaisten tulosten saavuttamiseksi puolijohdekiteiden kasvussa, hapettumisessa ja muissa lämpökäsittelyissä.

Tärkeimmät ominaisuudet ja edut

Korkea lämpöstabiilisuus

SiC:n poikkeuksellinen lämmönjohtavuus varmistaa, että 6 tuuman SiC Boat kestää äärimmäisiä lämpötiloja ilman vääntymistä tai huononemista. Tämä ominaisuus on erityisen arvokas hapetus- ja diffuusioprosesseissa, joissa tarkka lämpötilan säätö on välttämätöntä tasaiselle kiekkojen käsittelylle.

Erinomainen kemikaalinkestävyys

Piikarbidin luontainen kemiallisen korroosionkestävyys tekee veneestä ihanteellisen käytettäväksi ympäristöissä, joissa altistuminen aggressiivisille kaasuille, kuten hapelle, typelle tai muille reaktiivisille elementeille, on yleistä. Vene säilyttää rakenteellisen eheytensä ja suorituskykynsä korkeissa lämpötiloissa, kemiallisesti reaktiivisissa ympäristöissä, mikä vähentää saastumisen todennäköisyyttä.

Kestävyys korkeissa lämpötiloissa

6 tuuman SiC Boat on suunniteltu toimimaan jopa 1 500 °C:n lämpötiloissa, mikä on vaatimus monissa korkean lämpötilan puolijohdeprosesseissa, mukaan lukien hapetus ja diffuusio. Tämä korkean lämpötilan toleranssi takaa pitkän käyttöiän vaativissakin sovelluksissa.

Alhainen kontaminaatioriski

Yksi puolijohdekäsittelyn kriittisistä tekijöistä on kiekon pinnan kontaminaation minimoiminen. Piikarbidin alhainen epäpuhtauspitoisuus ja reagoimaton luonne varmistavat, että 6 tuuman piikarbidivene edistää puhdasta ja valvottua ympäristöä, mikä vähentää ei-toivotun saastumisen riskiä käsittelyn aikana.

Yhtenäinen kiekkotuki

Veneen muotoilu varmistaa, että kiekot tukevat tasaisesti, säilyttäen optimaalisen kiekkojen kohdistuksen ja ehkäisevät painumista tai kohdistusvirheitä korkean lämpötilan käsittelyn aikana. Tämä yhtenäinen tuki on välttämätöntä tasaisten tulosten varmistamiseksi ja kiekkojen vikojen estämiseksi.

Räätälöintiasetukset

6 tuuman SiC Boat voidaan räätälöidä vastaamaan asiakkaan erityisvaatimuksia, mukaan lukien räätälöidyt koot, muodot ja kokoonpanot eri kiekkotyypeille. Käytetäänpä sitä hapetukseen, diffuusioon tai muihin lämpöprosesseihin, vene voidaan optimoida asiakkaan prosessivirtauksen mukaan.

Sovellukset puolijohteiden valmistuksessa

6 tuuman SiC Boatia käytetään pääasiassa korkean lämpötilan lämpöprosesseissa puolijohteiden valmistuksessa. Se on erityisen tehokas hapetus- ja diffuusiouuneissa, joissa vaaditaan tarkkaa lämpötilan ja ilmakehän säätöä kiekkojen onnistumiseen.

• Hapetusprosessi: Hapetusprosessin aikana piikiekot altistetaan hapelle korotetuissa lämpötiloissa ohuen piidioksidikerroksen muodostamiseksi kiekon pinnalle. 6 tuuman SiC Boat varmistaa, että kiekot pysyvät tukevasti ja tasaisesti tämän korkean lämpötilan prosessin aikana, mikä estää muodonmuutoksia tai kohdistusvirheitä ja varmistaa tasaisen oksidikerroksen kasvun.
• Diffuusioprosessi: Diffuusioprosessissa piikiekkoon lisätään lisäaineita sen sähköisten ominaisuuksien muokkaamiseksi. SiC Boat tarjoaa vakaan ja luotettavan tuen kiekoille tämän kriittisen vaiheen aikana, jossa korkeat lämpötilat ja tarkka diffuusioympäristön hallinta ovat ensiarvoisen tärkeitä. Sen erinomainen lämmönkestävyys takaa tasaisen kuumenemisen, mikä on ratkaisevan tärkeää halutun lisäaineprofiilin saavuttamiseksi.
• Muut korkean lämpötilan sovellukset: Hapetuksen ja diffuusion lisäksi 6 tuuman SiC Boatia voidaan käyttää muissa korkean lämpötilan prosesseissa, kuten hehkutuksessa, nitridaatiossa ja epitaksiaalisessa kasvussa. Sen korkea lämmönjohtavuus ja lämpöshokin kesto tekevät siitä monipuolisen ratkaisun puolijohdelaitteiden valmistuksen eri vaiheisiin.

Edut muihin materiaaleihin verrattuna

Verrattuna perinteisiin materiaaleihin, kuten kvartsiin tai grafiittiin, piikarbidi tarjoaa merkittäviä etuja puolijohteiden valmistuksessa. Kvartsiveneet ovat herkempiä lämpöshokeille ja kemiallisille reaktioille, kun taas grafiittiveneet voivat päästä ulos kaasusta ja saastuttaa. SiC-veneet sen sijaan säilyttävät suorituskykynsä ankarissa ympäristöissä ilman kontaminaatio-, lämpöepävakautta tai -vaurioita. Tämä tekee 6 tuuman SiC Boatista luotettavamman ja tehokkaamman valinnan korkean lämpötilan puolijohteiden käsittelyyn.

Semicorex 6 tuuman SiC Boat on kriittinen komponentti puolijohdeteollisuudessa, joka tarjoaa tarvittavan vakauden, kemiallisen kestävyyden ja lämpösuorituskyvyn, joita vaaditaan edistyneessä kiekkojen käsittelyssä. Sen korkea lämmönjohtavuus, kemiallisen korroosionkestävyys ja minimaalinen kontaminaatioriski tekevät siitä ihanteellisen valinnan hapettumis-, diffuusio- ja muihin korkean lämpötilan puolijohdeprosesseihin. Käytetäänpä sitten tutkimus- ja kehitystyössä tai laajamittaisessa tuotannossa, 6 tuuman SiC Boat tarjoaa suorituskyvyn ja luotettavuuden, joita tarvitaan korkealaatuisimpien tulosten varmistamiseksi puolijohteiden valmistuksessa.