Vohvelin pidike

Semicorex-kiekkojen pidike on kriittinen komponentti puolijohteiden valmistuksessa ja sillä on keskeinen rooli kiekkojen tarkan ja tehokkaan käsittelyn varmistamisessa epitaksiprosessin aikana. Olemme lujasti sitoutuneet tarjoamaan korkealaatuisia tuotteita kilpailukykyiseen hintaan ja odotamme innolla, että pääsemme aloittamaan kanssasi liiketoiminnan.*

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorex Wafer Holder on nerokkaasti suunniteltu ydin, joka on valmistettu erittäin puhtaasta grafiitista ja päällystetty huolellisesti piikarbidilla (SiC), jotta se täyttää Liquid Phase Epitaxy (LPE) -laitteiston vaativat vaatimukset. Sen rakenne ja materiaalivalinta ovat ehdottoman tärkeitä kiekkojen eheyden säilyttämiseksi puolijohteiden valmistukseen sisältyvissä korkean lämpötilan prosesseissa.

SiC-pinnoitettu grafiittikiekkopidike osoittaa erinomaista kulutuskestävyyttä, joka on tärkeä ominaisuus optimaaliseen kiekkojen käsittelyyn vaadittavien tarkkojen mittojen ja pinnan laadun säilyttämisessä. LPE-prosesseissa kiekonpitimen pinnan eheys on ensiarvoisen tärkeää, koska mikä tahansa huononeminen tai epätasaisuus voi johtaa kiekon vaurioihin, mikä johtaa pienempään saantoon ja lisääntyneeseen jätemäärään. SiC-pinnoite varmistaa, että kiekkopidike säilyttää tasaisen, vakaan pinnan toistuvien jaksojen aikana, mikä edistää epitaksiprosessin yleistä luotettavuutta ja johdonmukaisuutta.

Lisäksi SiC-pinnoite parantaa kiekkopidikkeen lämpötehoa. Piikarbidin korkea lämmönjohtavuus varmistaa tasaisen lämmön jakautumisen kiekon yli epitaksiprosessin aikana, mikä on ratkaisevan tärkeää lämpögradientien estämisessä, jotka voivat aiheuttaa kiekkojen vääntymistä tai halkeilua. Tämä takaa, että lopputuotteet täyttävät puolijohteiden valmistuksessa vaadittavat tiukat laatustandardit. Grafiitin luontaisten lämpöominaisuuksien ja piikarbidipinnoitteen lisäetujen yhdistelmä luo kiekkopidikkeen, joka pystyy kestämään haastavimmat lämpöympäristöt.

Wafer Holderin muotoilu on optimoitu LPE-laitteissa käytettäväksi. Kiekkojen pidike on koneistettu tarkasti sovittamaan kiekot turvallisesti, minimoiden liikkeen tai kohdistusvirheen riskin epitaksiprosessin aikana. Tämä tarkkuus on ratkaisevan tärkeää, koska pienikin kiekkojen asennon muutos voi johtaa epätasaiseen kerrostukseen, mikä vaikuttaa valmistettavien puolijohdelaitteiden suorituskykyyn. SiC-pinnoitettu grafiittikiekkojen pidike tarjoaa tarvittavan vakauden ja varmistaa, että kiekot pysyvät oikeassa asennossa koko prosessin ajan.