Grafiittisuskeptori SiC-pinnoitteella

SiC-pinnoitteella varustetun grafiittisusseptorin SiC-pinnoite palvelee useita tarkoituksia. Ensinnäkin se tarjoaa parannetun lämpöstabiilisuuden, mikä mahdollistaa lämpötilagradienttien tarkan hallinnan epitaksiaalisten kasvuprosessien aikana. Tämä vakaus on ratkaisevan tärkeää tasaisten ja korkealaatuisten piikerrosten saavuttamiseksi puolijohdekiekoissa. Grafiittisuskeptorin SiC-pinnoite SiC-pinnoitteella tarjoaa erinomaisen kestävyyden kemiallista korroosiota ja lämpöshokkia vastaan ​​ja suojaa suskeptorin eheyden vaativissakin prosessiolosuhteissa. Tämä kestävyys merkitsee pidennettyä käyttöikää ja lyhyempiä seisokkeja, mikä viime kädessä lisää puolijohdevalmistuslaitosten tuottavuutta ja kustannustehokkuutta.

SiC-pinnoitteella varustetun Graphite Susceptorin tynnyrirakenne helpottaa kiekkojen tehokasta lataamista ja purkamista, mikä optimoi epitaksiprosessien suorituskyvyn. Lisäksi Graphite Susceptor with SiC Coating on räätälöity tuote, ja se voidaan räätälöidä vastaamaan puolijohdevalmistajien erityisvaatimuksia ja mieltymyksiä, mikä varmistaa yhteensopivuuden eri laitekokoonpanojen ja prosessiparametrien kanssa.