Semicorex Graphite Susceptor SiC Coating -pinnoitteella on olennainen komponentti, joka on suunniteltu piiepitaksiprosesseihin Applied Materials- ja LPE (Liquid Phase Epitaxy) -yksiköissä. Tämä piikarbidilla (SiC) päällystetystä korkealaatuisesta grafiittimateriaalista valmistettu suskeptori takaa erinomaisen suorituskyvyn ja pitkäikäisyyden puolijohteiden valmistusympäristöissä. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
SiC-pinnoitteella varustetun grafiittisusseptorin SiC-pinnoite palvelee useita tarkoituksia. Ensinnäkin se tarjoaa parannetun lämpöstabiilisuuden, mikä mahdollistaa lämpötilagradienttien tarkan hallinnan epitaksiaalisten kasvuprosessien aikana. Tämä vakaus on ratkaisevan tärkeää tasaisten ja korkealaatuisten piikerrosten saavuttamiseksi puolijohdekiekoissa. Grafiittisuskeptorin SiC-pinnoite SiC Coating -pinnoitteella tarjoaa erinomaisen kestävyyden kemiallista korroosiota ja lämpöshokkia vastaan ja suojaa suskeptorin eheyden vaativissakin prosessiolosuhteissa. Tämä kestävyys merkitsee pidennettyä käyttöikää ja lyhyempiä seisokkeja, mikä viime kädessä lisää puolijohdevalmistuslaitosten tuottavuutta ja kustannustehokkuutta.
SiC-pinnoitteella varustetun Graphite Susceptorin tynnyrirakenne helpottaa kiekkojen tehokasta lataamista ja purkamista, mikä optimoi epitaksiprosessien suorituskyvyn. Lisäksi grafiittisuskeptori piikarbidipinnoitteella on räätälöity tuote, ja se voidaan räätälöidä vastaamaan puolijohdevalmistajien erityisvaatimuksia ja mieltymyksiä, mikä varmistaa yhteensopivuuden erilaisten laitekokoonpanojen ja prosessiparametrien kanssa.