Kiinteät piikarbidirivat

Semicorex kiinteäpiikarbidirivatasennetaan tyypillisesti lämmöneristyskomponentteina puolijohdelämmönkäsittelylaitteiden, kuten RTP-hehkutusuunien ja diffuusiouunien, pystysuoraan uuniputkiin. Semicorex-kiinteät piikarbidirivat voivat tehokkaasti säädellä lämpötilan jakautumista korkean lämpötilan uuneissa ja minimoida korkeiden lämpötilojen aiheuttamat lämpövauriot prosessiovien tiivisteosille. Märkähapetuskäyttöolosuhteissa Semicorex-kiinteitä piikarbidiripoja voidaan käyttää tehokkaasti estämään vesihöyryn kondensoitumisesta suhteellisen alhaisissa prosessilämpötiloissa aiheutuvia negatiivisia vaikutuksia prosessituloksiin ja puolijohdelaitteisiin.

Semicorex-kiinteä piikarbidiripojen edut

1. Erinomainen kulutuskestävyys

CVD SiC:ssä on monikiteinen kuutiokiderakenne, jonka poikkeuksellinen kovuus on timantin jälkeen. Semicorex-piikarbidiripojen erinomainen kulutuskestävyys johtuu tästä ominaisuudesta, minkä ansiosta ne kestävät hankausta käsittelyn ja vaihdon aikana.

2. Ylivoimainen lämmönhallintakapasiteetti

CVD SiC tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja korkean lämpötilan stabiilisuuden, joka ei sula tai pehmene noin 2000 °C:n lämpötiloissa ja säilyttää stabiiliutensa ennen ultrakorkean lämpötilan sublimaatiota. Näiden erinomaisten lämpöominaisuuksien ansiosta Semicorex-kiinteät piikarbidirivat sopivat erittäin hyvin haastaviin puolijohteiden lämpökäsittelyn käsittelyolosuhteisiin.

3. Erittäin korkea puhtaus

CVD-SiCvalmistetaan ilman sintrauslisäaineita saostusprosessin aikana. Verrattuna tavanomaiseen reaktiosidostettuun piikarbidiin sen puhtausaste on paljon korkeampi, yli 99,9995 %. Tämä estää tehokkaasti metallisten epäpuhtauksien kontaminaatiota Semicorex-kiinteissä piikarbidiripoissa, jotka johtuvat korkeista lämpötiloista prosessiympäristöissä, mikä täyttää täydellisesti edistyneen puolijohteiden valmistuksen puhtausvaatimukset.

4. Luotettava korroosionkestävyys

Semicorex-kiinteät piikarbidirivat kestävät erittäin hapettavia ja voimakkaasti happamia prosessikaasuja, joita käytetään puolijohteiden lämpökäsittelyprosesseissa, johtuen CVD SiC:n poikkeuksellisesta kemiallisesta inertistä korkeissa lämpötiloissa. Tämä luotettava korroosionkestävyys pidentää tehokkaasti niiden käyttöikää ja alentaa komponenttien vaihtokustannuksia.

5. Tarkka koneistustarkkuus

Yhteensopivuuden varmistamiseksi erilaisten uuniputkien kanssa Semicorex voi räätälöidä umpipiikarbidirivat asiakkaan halkaisijan, paksuuden, reiän koon, tasaisuuden ja mittatoleransseja koskevien vaatimusten mukaan. Tämä korkeatasoinen koneistustarkkuus takaa evien vakaan toiminnan laitteissa ja auttaa optimoimaan puolijohteiden lämpökäsittelysovellusten kokonaistehokkuuden.