CVD-suihkupää SiC Coatilla

Erittäin puhtaasta grafiitista valmistettu ja CVD-menetelmällä ohuella SiC-kerroksella päällystetty CVD-suihkupää SiC Coatilla yhdistää sekä grafiitin että SiC:n edulliset ominaisuudet. Tämä synergia johtaa komponenttiin, joka ei ainoastaan ​​takaa erinomaista kaasujen tasaisen ja tarkan jakautumisen varmistamista, vaan myös erinomaisesti kestäviä lämpö- ja kemiallisia rasitteita vastaan, joita usein kohdataan laskeumaympäristöissä.

Avain SiC Coat -pinnoitteella varustetun CVD-suihkupään toimivuuteen on sen kyky hajottaa tasaisesti esiastekaasuja alustan pinnalle, mikä saavutetaan strategisella sijoittelulla alustan yläpuolelle ja sen pintaa lyövien pienten reikien tai suuttimien huolellisella suunnittelulla. Tämä tasainen jakautuminen on keskeistä johdonmukaisten laskeumatulosten saavuttamiseksi.

SiC:n valinta SiC Coat -pinnoitteella varustetun CVD-suihkupään pinnoitemateriaaliksi ei ole mielivaltainen, vaan sen ylivoimainen lämmönjohtavuus ja kemiallinen stabiilisuus perustuvat siihen. Nämä ominaisuudet ovat välttämättömiä lämmön kertymisen lieventämiseksi pinnoitusprosessin aikana ja tasaisen lämpötilan ylläpitämiseksi alustalla, sen lisäksi, että ne tarjoavat vankan suojan syövyttäviä kaasuja ja ankaria olosuhteita vastaan, jotka ovat tyypillisiä CVD-prosesseille.

Räätälöity vastaamaan vaihtelevien CVD-järjestelmien ja prosessivaatimusten erityisvaatimuksia, SiC Coat -pinnoitteella varustetun CVD-suihkupään suunnittelussa on levy- tai kiekkomuoto, joka on varustettu huolellisesti lasketulla joukolla reikiä tai rakoja. CVD-suihkupää, jossa on SiC Coat -pinnoite, takaa tasaisen kaasun jakautumisen, mutta myös optimaaliset virtausnopeudet, jotka ovat välttämättömiä pinnoitusprosessille, korostaen komponentin roolia tukina pyrittäessä materiaalin pinnoitusprosessien tarkkuuteen ja tasaisuuteen.