Piikarbidilla päällystetty grafiittitynnyri

Semicorex-piikarbidilla päällystetty grafiittitynnyri on täydellinen valinta puolijohteiden valmistussovelluksiin, jotka vaativat korkeaa lämmön- ja korroosionkestävyyttä. Sen poikkeuksellinen lämmönjohtavuus ja lämmönjako-ominaisuudet tekevät siitä ihanteellisen käytettäväksi LPE-prosesseissa ja muissa korkeissa lämpötiloissa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Mitä tulee puolijohteiden valmistukseen, Semicorex-piikarbidilla päällystetty grafiittipiippu on paras valinta poikkeuksellisen suorituskyvyn ja luotettavuuden vuoksi. Sen korkealaatuinen piikarbidipinnoite sekä erinomainen tiheys ja lämmönjohtavuus tarjoavat erinomaisen lämmön jakautumisen ja suojan haastavimmissakin korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä ympäristöissä.

Piikarbidilla päällystetty grafiittitynnyrimme takaa tasaisen lämpöprofiilin ja parhaan laminaarisen kaasuvirtauskuvion. Se estää kontaminaatioita tai epäpuhtauksia leviämästä kiekkoon, mikä tekee siitä ihanteellisen käytettäväksi puhdastilaympäristöissä. Semicorex on laajamittainen piikarbidilla päällystetyn grafiittisusseptorin valmistaja ja toimittaja Kiinassa, ja tuotteillamme on hyvä hintaetu. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi puolijohdeteollisuudessa.

Piikarbidilla päällystetyn grafiittitynnyrin parametrit

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC p-vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Raekoko	μm	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J kg-1 K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin Modulus	Gpa (4 pt bend, 1300 ℃)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtavuus	(W/mK)	300

Piikarbidilla päällystetyn grafiittitynnyrin ominaisuudet

- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on hyvä tiheys ja niillä voi olla hyvä suojaava rooli korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä.

- Yksikiteiden kasvattamiseen käytetyllä piikarbidilla päällystetyllä suskeptorilla on erittäin korkea pinnan tasaisuus.

- Pienennä lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittisubstraatin ja piikarbidikerroksen välillä, paranna tehokkaasti sidoslujuutta halkeilun ja delaminoitumisen estämiseksi.

- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.

- Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys.