Semicorex Silicon Carbide Coated Barrel Susceptor on korkealaatuinen grafiittituote, joka on päällystetty erittäin puhtaalla piikarbidilla ja tarjoaa poikkeuksellisen lämmön- ja korroosionkestävyyden. Se on suunniteltu erityisesti LPE-sovelluksiin puolijohdeteollisuudessa.
MeidänPiikarbidilla päällystetty suskeptoriSemicorexilta on ihanteellinen ratkaisu yksikiteiden kasvattamiseen korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä ympäristöissä.
Semicorexilla keskitymme tarjoamaan korkealaatuista ja kustannustehokastapiikarbidilla päällystettytynnyri suskeptori, asetamme etusijalle asiakastyytyväisyyden ja tarjoamme kustannustehokkaita ratkaisuja. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi, joka toimittaa korkealaatuisia tuotteita ja poikkeuksellista asiakaspalvelua.
ParametritPiikarbidipinnoitettuTynnyrivastaanotin
Tärkeimmät tekniset tiedotCVD-SIC pinnoite |
||
SiC-CVD-ominaisuudet |
||
Kristallirakenne |
FCC p-vaihe |
|
Tiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Raekoko |
μm |
2~10 |
Kemiallinen puhtaus |
% |
99.99995 |
Lämpökapasiteetti |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Youngin Modulus |
Gpa (4 pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Lämpölaajeneminen (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Lämmönjohtavuus |
(W/mK) |
300 |
OminaisuudetPiikarbidipinnoitettuTynnyrivastaanotin
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on hyvä tiheys ja niillä voi olla hyvä suojaava rooli korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä.
- Yksikiteiden kasvattamiseen käytetyllä piikarbidilla päällystetyllä suskeptorilla on erittäin korkea pinnan tasaisuus.
- Pienennä lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittisubstraatin ja piikarbidikerroksen välillä, paranna tehokkaasti sidoslujuutta halkeilun ja delaminoitumisen estämiseksi.
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.
- Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys.