Karbidipinnoitettu reaktorin tynnyrin suskeptori

Semicorex Carbide Coated Reactor Barrel Susceptor on korkealaatuinen grafiittituote, joka on päällystetty erittäin puhtaalla piikarbidilla ja on suunniteltu erityisesti LPE-prosesseihin. Erinomaisen lämmön- ja korroosionkestävyyden ansiosta tämä tuote sopii täydellisesti käytettäväksi puolijohteiden valmistussovelluksissa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Jos etsit tehokasta grafiittisuskeptoria epitaksiaalisen kerroksen muodostamiseen puolijohdekiekkoihin, Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor on erinomainen valinta. Sen piikarbidipinnoite tarjoaa erinomaisen lämmönjaon ja lämmönjohtavuuden, mikä takaa poikkeuksellisen suorituskyvyn vaativimmissakin korkeissa lämpötiloissa.

Semicorexilla keskitymme korkealaatuisten, kustannustehokkaiden kovametallipinnoitettujen reaktoripiippujen tarjoamiseen, asetamme etusijalle asiakastyytyväisyyden ja tarjoamme kustannustehokkaita ratkaisuja. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi, joka toimittaa korkealaatuisia tuotteita ja poikkeuksellista asiakaspalvelua.

Karbidilla päällystetyn reaktorin tynnyrin suskeptorin parametrit

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC p-vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Raekoko	μm	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J kg-1 K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin Modulus	Gpa (4 pt bend, 1300 ℃)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtavuus	(W/mK)	300

Karbidilla päällystetyn reaktoritynnyrin susceptorin ominaisuudet

- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on hyvä tiheys ja niillä voi olla hyvä suojaava rooli korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä.

- Yksikiteiden kasvattamiseen käytetyllä piikarbidilla päällystetyllä suskeptorilla on erittäin korkea pinnan tasaisuus.

- Pienennä lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittisubstraatin ja piikarbidikerroksen välillä, paranna tehokkaasti sidoslujuutta halkeilun ja delaminoitumisen estämiseksi.

- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.

- Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys.