SiC tyhjiöistukka

Semicorex SiC Vacuum Chuck on erityisesti suunniteltu työkalu, joka pitää puolijohdekiekot turvallisesti kriittisten käsittelyvaiheiden aikana äärimmäisen vakaasti ja luotettavasti. SiC Vacuum -istukan CVD SiC -pinnoite tarjoaa poikkeuksellisen mekaanisen lujuuden, kemiallisen kestävyyden ja lämpöstabiilisuuden varmistaen, että herkät kiekot ovat suojassa mahdollisilta vaurioilta tai saastumiselta.

SiC Vacuum Chuckin ainutlaatuinen grafiitin ja SiC-pinnoitteen yhdistelmä tarjoaa korkean lämmönjohtavuuden ja minimaalisen lämpölaajenemiskertoimen. Tämä mahdollistaa tehokkaan lämmönpoiston ja tasaisen lämpötilan jakautumisen kiekon pinnalla. Nämä ominaisuudet ovat välttämättömiä optimaalisten prosessointiolosuhteiden ylläpitämiseksi ja tuoton lisäämiseksi puolijohteiden valmistusprosesseissa.

SiC Vacuum -istukka on myös yhteensopiva tyhjiöympäristöjen kanssa, mikä varmistaa ylivoimaisen tarttuvuuden istukan ja kiekon välillä. Tämä eliminoi liukastumisen tai kohdistusvirheen vaaran erittäin tarkkojen toimintojen aikana. Sen ei-huokoinen pinta ja inertit ominaisuudet estävät edelleen kaasun poistumisen tai hiukkaskontaminaation, mikä takaa puolijohteiden valmistusympäristön puhtauden ja eheyden.

Semicorex SiC Vacuum Chuck on puolijohteiden valmistuksen kulmakiviteknologia, joka tarjoaa vertaansa vailla olevan suorituskyvyn ja kestävyyden vastaamaan alan muuttuviin vaatimuksiin. Käytetäänpä sitten litografiassa, syövytyksessä, pinnoituksessa tai muissa kriittisissä prosesseissa, tämä edistyksellinen ratkaisu määrittelee edelleen huippuosaamisen standardit puolijohdekiekkojen käsittelyssä ja prosessoinnissa.