SiC-pinnoitettu LPE-kidekasvusukeppi

Korkean sulamispisteensä, hapettumiskestävyytensä ja korroosionkestävyytensä ansiosta Semicorex SiC -pinnoitettu LPE Crystal Growth Susceptor on ihanteellinen valinta käytettäväksi yksikidekasvatussovelluksissa. Sen piikarbidipinnoite tarjoaa erinomaiset tasaisuus- ja lämmönjako-ominaisuudet, joten se on ihanteellinen valinta korkeisiin lämpötiloihin.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorex SiC Coated LPE Crystal Growth Susceptor on täydellinen valinta epiksiaalisen kerroksen muodostamiseen puolijohdelevyille poikkeuksellisen lämmönjohtavuuden ja lämmönjakoominaisuuksiensa ansiosta. Sen erittäin puhdas SiC-pinnoite tarjoaa erinomaisen suojan vaativimmissakin korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä ympäristöissä.

SiC-pinnoitettu LPE Crystal Growth Susceptor on suunniteltu saavuttamaan paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio, mikä varmistaa lämpöprofiilin tasaisuuden. Tämä auttaa estämään kontaminaatiota tai epäpuhtauksien leviämistä varmistaen korkealaatuisen epitaksiaalisen kasvun kiekkosirussa.

Ota meihin yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja SiC-pinnoitetusta LPE-kidekasvusukeptoristamme.

SiC-pinnoitetun LPE-kiteen kasvusukeptorin parametrit

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC Î² -vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Jyvän koko	Î¼m	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin moduuli	Gpa (4 pt bend, 1300â)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtokyky	(W/mK)	300

SiC-päällysteisen LPE-kiteen kasvusukeptorin ominaisuudet

- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on hyvä tiheys ja niillä voi olla hyvä suojaava rooli korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä.

- Yksikiteiden kasvattamiseen käytetyllä piikarbidilla päällystetyllä suskeptorilla on erittäin korkea pinnan tasaisuus.

- Pienennä lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittisubstraatin ja piikarbidikerroksen välillä, paranna tehokkaasti sidoslujuutta halkeilun ja delaminoitumisen estämiseksi.

- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.

- Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys.