Semicorexin SiC-pinnoitettu ICP-komponentti on suunniteltu erityisesti korkean lämpötilan kiekkojen käsittelyprosesseihin, kuten epitaksi- ja MOCVD-käsittelyyn. Hienolla piikarbidikidepinnoitteella kantajamme tarjoavat erinomaisen lämmönkestävyyden, tasaisen lämmön ja kestävän kemiallisen kestävyyden.
Semicorexin SiC-pinnoitettu ICP-komponentti on paras valinta kiekkojen käsittelyprosesseihin, jotka vaativat korkeita lämpötiloja ja kemikaalien kestävyyttä. Kantoaineemme tarjoavat tasaiset lämpöprofiilit, laminaariset kaasuvirtauskuviot ja estävät kontaminaatiota tai epäpuhtauksien diffuusiota hienon piikarbidikiteemme ansiosta. Hienolla piikarbidikidepinnoitteella kantajamme tarjoavat erinomaisen lämmönkestävyyden, tasaisen lämmön ja kestävän kemiallisen kestävyyden.
Semicorexilla keskitymme tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia ja kustannustehokkaita tuotteita. SiC-pinnoitetulla ICP-komponentillamme on hintaetu, ja sitä viedään monille Euroopan ja Amerikan markkinoille. Haluamme olla pitkäaikainen kumppanisi, joka toimittaa tasalaatuisia tuotteita ja poikkeuksellista asiakaspalvelua.
Ota yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja SiC-päällystetystä ICP-komponentistamme.
SiC-pinnoitetun ICP-komponentin parametrit
CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot |
||
SiC-CVD-ominaisuudet |
||
Kristallirakenne |
FCC p-vaihe |
|
Tiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Raekoko |
μm |
2~10 |
Kemiallinen puhtaus |
% |
99.99995 |
Lämpökapasiteetti |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Youngin Modulus |
Gpa (4 pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Lämpölaajeneminen (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Lämmönjohtavuus |
(W/mK) |
300 |
SiC-päällystetyn ICP-komponentin ominaisuudet
- Vältä irroitumista ja varmista, että kaikki pinnat ovat pinnoitettuja
Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys: Stabiili korkeissa lämpötiloissa aina 1600°C asti
Korkea puhtaus: valmistettu CVD-kemiallisella höyrypinnoituksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa.
Korroosionkestävyys: korkea kovuus, tiheä pinta ja hienojakoisia hiukkasia.
Korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.
- Saavuta paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio
- Takaa lämpöprofiilin tasaisuus
- Estä kontaminaatio tai epäpuhtauksien leviäminen