SiC-pinnoitettu grafiittipiippuvaskeptori

Jos etsit korkean suorituskyvyn grafiittisuskeptoria käytettäväksi puolijohteiden valmistussovelluksissa, Semicorex SiC Coated Graphite Barrel Susceptor on ihanteellinen valinta. Sen poikkeuksellinen lämmönjohtavuus ja lämmönjako-ominaisuudet tekevät siitä parhaan vaihtoehdon luotettavaan ja tasaiseen suorituskykyyn korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä ympäristöissä.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorex SiC Coated Graphite Barrel Susceptor on täydellinen valinta puolijohteiden valmistussovelluksiin, jotka vaativat poikkeuksellista lämmön jakautumista ja lämmönjohtavuutta. Sen erittäin puhdas piikarbidipinnoite ja erinomainen tiheys tarjoavat erinomaiset suoja- ja lämmönjakoominaisuudet varmistaen luotettavan ja tasaisen suorituskyvyn haastavimmissakin ympäristöissä.

SiC-pinnoitettu grafiittipiippususkeptorimme on suunniteltu saavuttamaan paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio, mikä varmistaa lämpöprofiilin tasaisuuden. Tämä auttaa estämään kontaminaatiota tai epäpuhtauksien leviämistä varmistaen korkealaatuisen epitaksiaalisen kasvun kiekon sirulla.

Ota meihin yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja SiC-päällystetystä grafiittipiippususkeptoristamme.

SiC Coated Graphite Barrel Susceptorin parametrit

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC p-vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Raekoko	μm	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J kg-1 K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin Modulus	Gpa (4 pt bend, 1300 ℃)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtavuus	(W/mK)	300

SiC Coated Graphite Barrel Susceptorin ominaisuudet

- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on hyvä tiheys ja niillä voi olla hyvä suojaava rooli korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä.

- Yksikiteiden kasvattamiseen käytetyllä piikarbidilla päällystetyllä suskeptorilla on erittäin korkea pinnan tasaisuus.

- Pienennä lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittisubstraatin ja piikarbidikerroksen välillä, paranna tehokkaasti sidoslujuutta halkeilun ja delaminoitumisen estämiseksi.

- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.

- Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys.