SiC päällystetty grafiittitynnyri suskeptori

Semicorex SiC Coated Graphite Barrel Susceptor on täydellinen valinta puolijohteiden valmistussovelluksiin, jotka vaativat poikkeuksellista lämmönjakoa ja lämmönjohtavuutta. Sen erittäin puhdas piikarbidipinnoite ja erinomainen tiheys tarjoavat erinomaiset suoja- ja lämmönjakoominaisuudet varmistaen luotettavan ja tasaisen suorituskyvyn haastavimmissakin ympäristöissä.

SiC-pinnoitettu grafiittitynnyri suskeptorimme on suunniteltu saavuttamaan paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio, mikä varmistaa lämpöprofiilin tasaisuuden. Tämä auttaa estämään kontaminaatiota tai epäpuhtauksien leviämistä varmistaen korkealaatuisen epitaksiaalisen kasvun kiekkosirussa.

Ota meihin yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja SiC-pinnoitetusta grafiittipiippususseptoristamme.

SiC Coated Graphite Barrel Susceptorin parametrit

SiC Coated Graphite Barrel Susceptorin ominaisuudet

- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on hyvä tiheys ja niillä voi olla hyvä suojaava rooli korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä.

- Yksikiteiden kasvattamiseen käytetyllä piikarbidilla päällystetyllä suskeptorilla on erittäin korkea pinnan tasaisuus.

- Pienennä lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittisubstraatin ja piikarbidikerroksen välillä, paranna tehokkaasti sidoslujuutta halkeilun ja delaminoitumisen estämiseksi.

- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.

- Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys.