Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor for Wafer Epitaxial on täydellinen valinta yksikidekasvatussovelluksiin poikkeuksellisen tasaisen pinnan ja korkealaatuisen piikarbidipinnoitteen ansiosta. Sen korkea sulamispiste, hapettumisenkestävyys ja korroosionkestävyys tekevät siitä ihanteellisen valinnan käytettäväksi korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä ympäristöissä.
Etsitkö grafiittisuskeptoria, jolla on poikkeuksellinen lämmönjako ja lämmönjohtavuus? Älä etsi kauempaa kuin Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor for Wafer Epitaxial, joka on päällystetty erittäin puhtaalla SiC:llä erinomaisen suorituskyvyn saavuttamiseksi epitaksiaalisissa prosesseissa ja muissa puolijohteiden valmistussovelluksissa.
Semicorexilla keskitymme tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia ja kustannustehokkaita tuotteita. SiC-pinnoitetulla piippuvaskeptorillamme Wafer Epitaxialille on hintaetu, ja sitä viedään monille Euroopan ja Amerikan markkinoille. Haluamme olla pitkäaikainen kumppanisi, joka toimittaa tasalaatuisia tuotteita ja poikkeuksellista asiakaspalvelua.
Piitaksiaalisen piikarbidilla päällystetyn tynnyrisuskeptorin parametrit
CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot |
||
SiC-CVD-ominaisuudet |
||
Kristallirakenne |
FCC p-vaihe |
|
Tiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Raekoko |
μm |
2~10 |
Kemiallinen puhtaus |
% |
99.99995 |
Lämpökapasiteetti |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Youngin Modulus |
Gpa (4 pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Lämpölaajeneminen (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Lämmönjohtavuus |
(W/mK) |
300 |
Piitaksiaalisen piikarbidipäällysteisen piippuvaskeptorin ominaisuudet
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on hyvä tiheys ja niillä voi olla hyvä suojaava rooli korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä.
- Yksikiteiden kasvattamiseen käytetyllä piikarbidilla päällystetyllä suskeptorilla on erittäin korkea pinnan tasaisuus.
- Pienennä lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittisubstraatin ja piikarbidikerroksen välillä, paranna tehokkaasti sidoslujuutta halkeilun ja delaminoitumisen estämiseksi.
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.
- Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys.