SiC-pinnoitettu tynnyrin suskeptori

Korkean sulamispisteensä, hapettumiskestävyytensä ja korroosionkestävyytensä ansiosta Semicorex SiC -pinnoitettu tynnyri susceptor on täydellinen valinta käytettäväksi yksikidekasvatussovelluksissa. Sen piikarbidipinnoite tarjoaa poikkeuksellisen tasaisuuden ja lämmönjako-ominaisuudet varmistaen luotettavan ja tasaisen suorituskyvyn vaativimmissakin korkeissa lämpötiloissa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor on korkealaatuinen grafiittituote, joka on päällystetty erittäin puhtaalla piikarbidilla ja on suunniteltu erityisesti LPE-prosesseihin ja muihin puolijohteiden valmistussovelluksiin. Sen poikkeuksellinen tiheys ja lämmönjohtavuus tarjoavat erinomaisen lämmön jakautumisen ja suojan korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä ympäristöissä.
Keskitymme Semicorexilla tarjoamaan korkealaatuisia, kustannustehokkaita piikarbidipinnoitettuja tynnyrisuojia, asetamme etusijalle asiakastyytyväisyyden ja tarjoamme kustannustehokkaita ratkaisuja. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi, joka toimittaa korkealaatuisia tuotteita ja poikkeuksellista asiakaspalvelua.

SiC-pinnoitetun piipun suskeptorin parametrit

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC p-vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Raekoko	μm	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J kg-1 K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin Modulus	Gpa (4 pt bend, 1300 ℃)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtavuus	(W/mK)	300

SiC-pinnoitetun piippususceptorin ominaisuudet

- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on hyvä tiheys ja niillä voi olla hyvä suojaava rooli korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä.

- Yksikiteiden kasvattamiseen käytetyllä piikarbidilla päällystetyllä suskeptorilla on erittäin korkea pinnan tasaisuus.

- Pienennä lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittisubstraatin ja piikarbidikerroksen välillä, paranna tehokkaasti sidoslujuutta halkeilun ja delaminoitumisen estämiseksi.

- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.

- Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys.