Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor for LPE Epitaxial Growth on korkean suorituskyvyn tuote, joka on suunniteltu tarjoamaan tasaisen ja luotettavan suorituskyvyn pitkän ajan. Sen tasainen lämpöprofiili, laminaarinen kaasuvirtauskuvio ja kontaminaation esto tekevät siitä ihanteellisen valinnan korkealaatuisten epitaksiaalisten kerrosten kasvattamiseen kiekkosiruille. Sen muokattavuus ja kustannustehokkuus tekevät siitä erittäin kilpailukykyisen tuotteen markkinoilla.
SiC Coated Barrel Susceptor for LPE Epitaxial Growth on korkealaatuinen ja luotettava tuote, joka tarjoaa erinomaisen vastineen rahalle. Sen korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, tasainen lämpöprofiili ja kontaminaatioesto tekevät siitä ihanteellisen valinnan korkealaatuisten epitaksiaalisten kerrosten kasvattamiseen kiekkolastuille. Sen alhaiset huoltotarpeet ja muokattavuus tekevät siitä erittäin kilpailukykyisen tuotteen markkinoilla.
Ota meihin yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja SiC-pinnoitetusta piipun suskeptoristamme LPE-epitaksiaaliseen kasvuun.
SiC-pinnoitetun piipun suskeptorin parametrit LPE-epitaksiaaliseen kasvuun
CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot |
||
SiC-CVD-ominaisuudet |
||
Kristallirakenne |
FCC p-vaihe |
|
Tiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Raekoko |
μm |
2~10 |
Kemiallinen puhtaus |
% |
99.99995 |
Lämpökapasiteetti |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Youngin Modulus |
Gpa (4 pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Lämpölaajeneminen (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Lämmönjohtavuus |
(W/mK) |
300 |
SiC-pinnoitetun piipun suskeptorin ominaisuudet LPE-epitaksiaaliseen kasvuun
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on hyvä tiheys ja niillä voi olla hyvä suojaava rooli korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä.
- Yksikiteiden kasvattamiseen käytetyllä piikarbidilla päällystetyllä suskeptorilla on erittäin korkea pinnan tasaisuus.
- Pienennä lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittisubstraatin ja piikarbidikerroksen välillä, paranna tehokkaasti sidoslujuutta halkeilun ja delaminoitumisen estämiseksi.
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.
- Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys.