Semicorexin piikarbidilla päällystetty suskeptori induktiivisesti kytkettyä plasmaa (ICP) varten on suunniteltu erityisesti korkean lämpötilan kiekkojen käsittelyprosesseihin, kuten epitaksiin ja MOCVD:hen. Vakaalla, korkeissa lämpötiloissa jopa 1600 °C:n hapettumiskestävillä kantoaineillamme varmistetaan tasaiset lämpöprofiilit, laminaariset kaasuvirtauskuviot ja estetään kontaminaatiota tai epäpuhtauksien diffuusiota.
Lue lisääLähetä kysely