Keraaminen sähköstaattinen istukka

Alumiinioksidikeramiikasta valmistettu sähköstaattinen Semicorex Ceramic -istukka on välttämätön puolijohdekiekkojen pitämiseksi turvallisesti erilaisten valmistusprosessien aikana. Ainutlaatuisen materiaaliominaisuuksiensa yhdistelmän ansiosta tällä keraamisella sähköstaattisella istukkalla on keskeinen rooli tarkkuuden, luotettavuuden ja tehokkuuden varmistamisessa koko puolijohdelaitteiden valmistuksessa.

Keraamisen sähköstaattisen istukan ytimessä on alumiinioksidikeramiikka, materiaali, joka on teollisuudessa arvostettu poikkeuksellisista fysikaalisista ja kemiallisista ominaisuuksistaan. Alumiinioksidi (Al2O3) tunnetaan erinomaisista sähköeristysominaisuuksistaan, jotka ovat kriittisiä ESC:n yhteydessä. Puolijohdekäsittelyn aikana kiekkoja on pidettävä tukevasti paikallaan ilman sähköisiä häiriöitä, jotka voisivat vaikuttaa valmistettavaan herkkään piiriin. Alumiinioksidikeramiikan korkea dielektrinen lujuus varmistaa, että istukka voi toimia tarvittavilla korkeilla jännitteillä ilman sähköpurkauksen riskiä, ​​mikä tarjoaa vakaan ja luotettavan puristusvoiman, joka on välttämätöntä kiekon asennon ja eheyden säilyttämiseksi.

Keraaminen sähköstaattinen istukka toimii luomalla sähköstaattisen kentän alumiinioksidikeramiikkaan upotettujen elektrodien kautta. Kun jännite kytketään, tuloksena oleva kenttä luo vahvan puristusvoiman, joka pitää kiekon tukevasti paikallaan istukan pinnalla. Tämä ei-mekaaninen kiinnitysmenetelmä on erityisen edullinen puolijohdeprosessoinnissa, koska se minimoi fyysisen kosketuksen ja vähentää kiekon kontaminaation ja mekaanisen vaurion riskiä, ​​mikä on erityisen kriittistä edistyneille solmuille, joissa pieninkin vika voi johtaa merkittävään tuottohäviöön.

Yksi keraamisen sähköstaattisen istukan erottuvista ominaisuuksista on sen lämpösuorituskyky. Puolijohdeprosesseihin liittyy usein korkeita lämpötiloja, jotka voivat aiheuttaa lämpörasitusta kiekkoon. Alumiinioksidikeramiikka on arvostettu erinomaisesta lämmönjohtavuudestaan, jonka ansiosta keraaminen sähköstaattinen istukka voi tehokkaasti haihduttaa käsittelyn aikana syntyvää lämpöä. Tämä lämmönhallintaominaisuus on välttämätön tasaisen lämpötilan jakautumisen ylläpitämiseksi kiekon poikki, mikä vähentää lämpögradientteja, jotka voivat johtaa vääntymiseen tai mikrosäröilyyn. Alumiinioksidikeramiikan tarjoama vakaus varmistaa, että kriittiset prosessit, kuten fotolitografia ja syövytys, suoritetaan tarkasti, mikä säilyttää kiekon eheyden koko valmistussyklin ajan.

Lisäksi alumiinioksidikeramiikan mekaaninen kestävyys edistää merkittävästi ESC:n kestävyyttä ja pitkäikäisyyttä. Puolijohteiden valmistuksessa keraaminen sähköstaattinen istukka altistetaan toistuville kiekkojen asettamisen, käsittelyn ja poistamisen sykleille. Alumiinioksidin kulutuskestävyys varmistaa, että istukka kestää nämä syklit ilman merkittävää heikkenemistä. Tämä kulutuksenkestävyys ei vain pidennä istukan käyttöikää, vaan myös vähentää hiukkasten muodostumisen todennäköisyyttä, mikä muuten saastuttaa kiekon ja vaarantaa laitteen laadun. Materiaalin kovuus tarkoittaa myös, että istukan pinta pysyy tasaisena ja tasaisena, mikä on kriittinen tekijä tasaisen puristusvoiman ylläpitämisessä ja kiekkojen vaurioitumisen välttämisessä.