Kestävät Semicorex-tarkennusrenkaat puolijohdekäsittelyyn on suunniteltu kestämään puolijohdekäsittelyssä käytettävien plasmaetsauskammioiden äärimmäisiä ympäristöjä. Tarkennusrenkaamme on valmistettu erittäin puhtaasta grafiitista, joka on päällystetty tiheällä, kulutusta kestävällä piikarbidipinnoitteella (SiC). SiC-pinnoitteella on korkeat korroosion- ja lämmönkestävyysominaisuudet sekä erinomainen lämmönjohtavuus. Levitämme piikarbidia ohuina kerroksina grafiitille käyttämällä kemiallista höyrypinnoitusprosessia (CVD) parantaaksemme tarkennusrenkaidemme käyttöikää.
Lue lisääLähetä kysely