Semicorex SiC Graphite RTP -kantolevy MOCVD:lle tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja lämmön tasaisuuden, mikä tekee siitä täydellisen ratkaisun puolijohdekiekkojen käsittelysovelluksiin. Korkealaatuisella piikarbidilla päällystetyllä grafiitilla tämä tuote on suunniteltu kestämään ankarimmatkin saostumisympäristöt epitaksiaalista kasvua varten. Korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet takaavat luotettavan suorituskyvyn RTA-, RTP- tai voimakkaassa kemiallisessa puhdistuksessa.
Lue lisääLähetä kysely