Kuinka keraamiset sähköstaattiset istukat todella valmistetaan?

Perinteisiä kiekkojen kiinnitysmenetelmiä ovat perinteisessä mekaanisessa teollisuudessa yleisesti käytetty mekaaninen kiinnitys ja vahasidonta, jotka molemmat voivat helposti vahingoittaa kiekkoa, aiheuttaa vääntymistä ja saastuttaa sen, mikä vaikuttaa merkittävästi käsittelyn tarkkuuteen.

Kuinka tyhjiöistukat kehittyivät ja miksi ovatKeraamiset sähköstaattiset istukatSuosituin?

Ajan myötä kehitettiin huokoisesta keramiikasta valmistettuja tyhjiöistukat. Nämä istukat käyttävät piikiekon ja keraamisen pinnan väliin muodostuvaa alipainetta pitämään kiekon kiinni, mikä voi aiheuttaa paikallista muodonmuutosta ja vaikuttaa tasaisuuteen. Siksi viime vuosinakeraamiset sähköstaattiset istukat, jotka tarjoavat vakaan ja tasaisen adsorptiovoiman, estävät kiekkojen saastumisen ja hallitsevat tehokkaasti piikiekon lämpötilaa, ovat tulleet ihanteellisiksi kiinnitystyökaluiksi erittäin ohuille kiekkoille.

Miten tuotantoprosessi sujuuKeraamiset sähköstaattiset istukatSuoritettu?

Yleensä käytetään monikerroksista keraamista rinnakkaispolttotekniikkaa, joka sisältää prosesseja, kuten nauhavalu, viipalointi, silkkipainatus, laminointi, kuumapuristus ja sintraus.

Coulomb-tyyppisillesähköstaattiset istukat, dielektrinen kerros ei sisällä johtavia materiaaleja. Se sisältää keraamisten jauheiden, liuottimien, dispergointiaineiden, sideaineiden, pehmittimien ja sintrausapuaineiden sekoittamisen stabiilin lietteen muodostamiseksi. Tämä liete päällystetään sitten kaavinterällä, kuivataan ja viipaloidaan tietyn paksuisten keraamisten viherlevyjen muodostamiseksi. JR-tyypillesähköstaattiset istukat, ylimääräisiä resistiivisyyden säätimiä (johtavia materiaaleja) sekoitetaan J-R-kerroksen vaaditun vastuksen saavuttamiseksi, minkä jälkeen teippivalataan viherlevyjen muodostamiseksi.

Silkkipainatusta käytetään ensisijaisesti elektrodikerroksen valmistukseen. Johtava tahna kaadetaan ensin silkkipainolevyn toiseen päähän. Seulatulostimessa olevan vetolastan vaikutuksesta johtava tahna kulkee seulalevyn verkkoaukkojen läpi ja saostuu alustalle. Painoprosessi on valmis, kun vetolasta levittää hopeatahnan tasaisesti seulaverkon läpi.

Vihreät keraamiset levyt pinotaan vaaditussa järjestyksessä (alustakerros, elektrodikerros, dielektrinen kerros) ja kerrosten lukumäärässä. Sitten ne puristetaan yhteen tietyissä lämpötila- ja paineolosuhteissa täydellisen vihreän kappaleen muodostamiseksi. On erittäin tärkeää varmistaa, että paine jakautuu tasaisesti koko viherkappaleen pinnalle tasaisen kutistumisen takaamiseksi puristuksen aikana.

Lopuksi koko vihreä kappale läpikäy integroidun sintrauksen uunissa. Sopiva lämpötilaprofiili on määritettävä tasaisuuden ja kutistumisen hallinnan varmistamiseksi sintrausprosessin aikana. On raportoitu, että Japanin NGK pystyy säätämään jauheen kutistumisasteen sintrauksen aikana noin 10 prosenttiin, kun taas useimpien kotimaisten valmistajien kutistumisaste on edelleen 20 % tai enemmän.**

Meillä Semicorexilla on kokemusta ratkaisujen tarjoamisesta Keraamiset sähköstaattiset istukatjamuut keraamiset materiaalitpuolijohde- ja aurinkosähköalalla, jos sinulla on kysyttävää tai tarvitset lisätietoja, älä epäröi ottaa meihin yhteyttä.

Yhteyspuhelin: +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com