Hehkutusprosessit nykyaikaisessa puolijohdevalmistuksessa

Teknologian solmujen kutistuessa edelleen erittäin matalien liitoskohtien muodostuminen asettaa merkittäviä haasteita. Lämpöhehkutusprosessit mukaan lukienNopea lämpöhehkutus (RTA)ja flash lampun hehkutus (FLA) ovat elintärkeitä tekniikoita, jotka ylläpitävät korkeaa epäpuhtauksien aktivointinopeutta ja minimoivat diffuusion ja varmistavat laitteen optimaalisen suorituskyvyn.

1. Erittäin matala liitosmuodostelma:

Teknologian solmujen kutistuessa erittäin matalien liitoskohtien muodostaminen on yhä haastavampaa. Tekniikat, kuten nopea lämpöhehkutus (RTA) ja salamalampun hehkutus (FLA) ovat ratkaisevan tärkeitä korkean epäpuhtauksien aktivoitumisasteen saavuttamiseksi ja samalla minimoimalla diffuusion, mikä varmistaa laitteen optimaalisen suorituskyvyn.

2. High-k-portin eristeiden muuttaminen:

Post-deposition hehkutus (PDA) parantaa merkittävästi korkean k-hilan eristeiden sähköisiä ominaisuuksia. Tämä prosessi vähentää portin vuotovirtoja ja lisää dielektrisiä vakioita, jotka ovat elintärkeitä edistyneille logiikka- ja muistilaitteille.

3. Metallisilisidien muodostuminen:

Metallisilisidien, kuten CoSi ja NiSi, optimointi on välttämätöntä kosketus- ja bulkkikestävyyden parantamiseksi. Hehkutusolosuhteiden tarkka hallinta helpottaa ihanteellisten seosfaasien luomista, mikä lisää laitteen yleistä tehokkuutta.

4. 3D-integraatiotekniikat:

Teknologioissa, kuten 3D NAND ja 3D DRAM, hehkutusprosesseja on sovellettava useisiin kerroksiin. Nopeilla lämpötekniikoilla on keskeinen rooli sen varmistamisessa, että jokainen kerros saavuttaa optimaalisen suorituskyvyn.

Hehkutus on kriittinen puolijohteiden valmistuksessa, koska se mahdollistaa hilavaurioiden korjaamisen, epäpuhtauksien aktivoinnin, kalvon muuntamisen ja metallisilikidien muodostumisen lämpötilan, ajan ja lämpöbudjetin tarkan hallinnan avulla. Teknologian solmujen kutistuessa kehittyneet hehkutusmenetelmät, kutenRTA, FLA ja laserpiikkihehkutus ovat yleistyneet. Tulevaisuudessa hehkutusprosessia kehitetään edelleen vastaamaan uusien materiaalien ja laitteiden vaatimuksia.

Semicorex tarjoaa alan johtavaahehkutusratkaisut, varmistaen, että puolijohdelaitteesi täyttävät korkeimmat suorituskykystandardit tarkasti ja luotettavasti.

Jos sinulla on kysyttävää tai tarvitset lisätietoja, älä epäröi ottaa meihin yhteyttä.

Puhelinnumero +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com