Pinnoite puolijohdepiin yksittäiskiteiden lämpökentässä

Pinnoitetut osat puolijohdepiistä yksikiteisessä kuumakentässä päällystetään yleensä CVD-menetelmällä, mukaan lukien pyrolyyttinen hiilipinnoitus,PiikarbidipinnoitejaTantaalikarbidipinnoite, jokaisella on erilaiset ominaisuudet.

Yleisiä kohtia: substraatti on erittäin puhdasta isostaattista grafiittia, yleensä alle 5 ppm tuhkaa; pinnoitteita käytetään CVD-menetelmällä; pinnoite on periaatteessa 100 % hiiltä tai piikarbidia; pinnoituksen jälkeen pinta on suhteellisen tiheä, kaasu, erityisesti uunin piihöyry tai piioksidikaasu, voidaan periaatteessa tukkia; sen oma pölyn haihtuminen on myös hyvin vähäistä.

Erot: pinnoitteen vakiopaksuus, pyrolyyttinen hiilipinnoite on yleensä noin 40 um; Piikarbidipinnoite tehdään yleensä noin 100 um, mutta asiakkaiden erilaisten tarpeiden mukaan se voidaan tehdä 30 um - 150 um, mukaan lukien yksi pinnoite ja kaksi pinnoitetta; tantaalikarbidipinnoite on yleensä 35±15um.

Pyrolyyttinen hiilipinnoite, sen tiheys vastaa ei-huokoisen grafiitin tiheyttä, joka on noin 2,2. Sillä on alhainen resistiivisyys ja korkea lämmönjohtavuus pinnan yhdensuuntaisessa suunnassa, joten se voi säilyttää pinnan lämpötilan johdonmukaisuuden, ja sillä on myös alhainen lämpölaajenemiskerroin ja korkea kimmomoduuli. Pinnan kohtisuorassa suunnassa lämpölaajenemiskerroin on suurempi ja lämmönjohtavuus pienempi.

Piikarbidilla päällystetyissä tuotteissa pinnoitteen kimmokerroin on erittäin korkea, kymmeniä kertoja suurempi kuin sisäisen grafiittisubstraatin kimmomoduuli, joten tuotteen repeytymisen välttämiseksi sitä on käsiteltävä hellästi.

Pyrolyyttinen hiilipinnoite ja piikarbidipinnoite, jossa on kaikki epäpuhtaudet, on alle 5 ppm, kun päämetallielementtipitoisuus on alle 0,1 tai 0,01 ppm, boorielementin kanssa vaikeampi käsitellä on 0,01 tai 0,15 ppm.

Semicorex tarjoaa korkealaatuisen CVD-pinnoitustuotteen puolijohteisiin räätälöidyllä palvelulla. Jos sinulla on kysyttävää tai tarvitset lisätietoja, älä epäröi ottaa meihin yhteyttä.

Puhelinnumero +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com