Yksikiteinen piikiekko suskeptori

Monokiteinen pii-epitaksiaalinen susceptorimme on grafiittituote, joka on päällystetty erittäin puhtaalla piikarbidilla, jolla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys. CVD-piikarbidilla päällystettyä kantajaa käytetään prosesseissa, jotka muodostavat puolijohdekiekkojen epitaksiaalisen kerroksen. Sillä on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet, jotka ovat välttämättömiä tehokkaille ja tarkille puolijohteiden valmistusprosesseille.
Yksi monokiteisen piikiekon suskeptorimme tärkeimmistä ominaisuuksista on sen erinomainen tiheys. Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on hyvä tiheys ja niillä voi olla hyvä suojaava rooli korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä. Yksikiteiden kasvattamiseen käytetyllä piikarbidilla päällystetyllä suskeptorilla on erittäin korkea pinnan tasaisuus, mikä on välttämätöntä laadukkaan kiekotuotannon ylläpitämiseksi.
Toinen tuotteemme tärkeä ominaisuus on sen kyky pienentää lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittisubstraatin ja piikarbidikerroksen välillä. Tämä parantaa tehokkaasti sidoslujuutta ja estää halkeilua ja delaminaatiota. Lisäksi sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet, mikä varmistaa lämmön tasaisen jakautumisen valmistusprosessin aikana.
Monokiteinen piikiekkosuseptorimme kestää myös korkean lämpötilan hapettumista ja korroosiota, mikä tekee siitä luotettavan ja kestävän tuotteen. Sen korkea sulamispiste varmistaa, että se kestää tehokkaan puolijohteiden valmistuksen edellyttämän korkean lämpötilan ympäristön.
Yhteenvetona voidaan todeta, että Semicorex Monocrystalline Silicon Wafer Susceptor on erittäin puhdas, kestävä ja luotettava ratkaisu grafiitin epitaksi- ja kiekkojen käsittelyprosesseihin. Sen erinomainen tiheys, pinnan tasaisuus ja lämmönjohtavuus tekevät siitä ihanteellisen käytettäväksi korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä ympäristöissä. Olemme ylpeitä voidessamme tarjota korkealaatuisia tuotteita kilpailukykyiseen hintaan ja odotamme innolla kumppanuutta kanssasi kaikissa puolijohdekiekkojen kannattimen tarpeissasi.

Yksikiteisen piikiekon suskeptorin parametrit

Yksikiteisen piikiekon suskeptorin ominaisuudet

- Vältä irroitumista ja varmista, että kaikki pinnat ovat pinnoitettuja
Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys: Stabiili korkeissa lämpötiloissa aina 1600°C asti
Korkea puhtaus: valmistettu CVD-kemiallisella höyrypinnoituksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa.
Korroosionkestävyys: korkea kovuus, tiheä pinta ja hienojakoisia hiukkasia.
Korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.
- Saavuta paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio
- Takaa lämpöprofiilin tasaisuus
- Estä kontaminaatio tai epäpuhtauksien leviäminen