Jos etsit korkealaatuista grafiittisuskeptoria, joka on päällystetty erittäin puhtaalla piikarbidilla, Semicorex LPE Barrel Susceptor piikarbidipinnoitteella on täydellinen valinta. Sen poikkeuksellinen lämmönjohtavuus ja lämmönjako-ominaisuudet tekevät siitä ihanteellisen käytettäväksi puolijohteiden valmistussovelluksissa.
Semicorex LPE Barrel Susceptor SiC Coating -pinnoitteella on korkealaatuinen grafiittituote, joka on päällystetty erittäin puhtaalla piikarbidilla, mikä tekee siitä ihanteellisen valinnan käytettäväksi korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä ympäristöissä. Sen erinomainen tiheys ja lämmönjohtavuus tarjoavat poikkeuksellisen lämmön jakautumisen ja suojan puolijohdevalmistussovelluksissa.
Semicorexilla keskitymme tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia ja kustannustehokkaita tuotteita. SiC-pinnoitteella varustetulla LPE Barrel Susceptorillamme on hintaetu, ja sitä viedään monille Euroopan ja Amerikan markkinoille. Haluamme olla pitkäaikainen kumppanisi, joka toimittaa tasalaatuisia tuotteita ja poikkeuksellista asiakaspalvelua.
SiC-pinnoitteella varustetun LPE-tynnyrisuskeptorin parametrit
CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot |
||
SiC-CVD-ominaisuudet |
||
Kristallirakenne |
FCC β -vaihe |
|
Tiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Jyvän koko |
μm |
2~10 |
Kemiallinen puhtaus |
% |
99.99995 |
Lämpökapasiteetti |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Youngin moduuli |
Gpa (4 pt bend, 1300â) |
430 |
Lämpölaajeneminen (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Lämmönjohtokyky |
(W/mK) |
300 |
LPE Barrel Susceptorin ominaisuudet SiC-pinnoitteella
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on hyvä tiheys ja niillä voi olla hyvä suojaava rooli korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä.
- Yksikiteiden kasvattamiseen käytetyllä piikarbidilla päällystetyllä suskeptorilla on erittäin korkea pinnan tasaisuus.
- Pienennä lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittisubstraatin ja piikarbidikerroksen välillä, paranna tehokkaasti sidoslujuutta halkeilun ja delaminoitumisen estämiseksi.
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.
- Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys.