Jos etsit korkealaatuista grafiittisuskeptoria, joka on päällystetty erittäin puhtaalla SiC:llä, Semicorex Barrel Susceptor SiC Coating in Semiconductor on täydellinen valinta. Sen poikkeuksellinen lämmönjohtavuus ja lämmönjako-ominaisuudet tekevät siitä ihanteellisen käytettäväksi puolijohteiden valmistussovelluksissa.
Semicorex Barrel Susceptor SiC Coating in Semiconductor on korkealaatuinen grafiittituote, joka on päällystetty erittäin puhtaalla piikarbidilla, joten se on ihanteellinen valinta käytettäväksi korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä ympäristöissä. Sen erinomainen tiheys ja lämmönjohtavuus tarjoavat poikkeuksellisen lämmön jakautumisen ja suojan puolijohdevalmistussovelluksissa.
Semicorexilla keskitymme tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia ja kustannustehokkaita tuotteita. Puolijohteessa piikarbidipinnoitteella varustetulla piippususkeptorillamme on hintaetu, ja sitä viedään monille Euroopan ja Amerikan markkinoille. Haluamme olla pitkäaikainen kumppanisi, joka toimittaa tasalaatuisia tuotteita ja poikkeuksellista asiakaspalvelua.
Puolijohteessa piikarbidipinnoitteella varustetun tynnyrisuskeptorin parametrit
CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot |
||
SiC-CVD-ominaisuudet |
||
Kristallirakenne |
FCC p-vaihe |
|
Tiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Raekoko |
μm |
2~10 |
Kemiallinen puhtaus |
% |
99.99995 |
Lämpökapasiteetti |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Youngin Modulus |
Gpa (4 pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Lämpölaajeneminen (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Lämmönjohtavuus |
(W/mK) |
300 |
Puolijohteessa piikarbidipinnoitteella varustetun tynnyrisuskeptorin ominaisuudet
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on hyvä tiheys ja niillä voi olla hyvä suojaava rooli korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä.
- Yksikiteiden kasvattamiseen käytetyllä piikarbidilla päällystetyllä suskeptorilla on erittäin korkea pinnan tasaisuus.
- Pienennä lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittisubstraatin ja piikarbidikerroksen välillä, paranna tehokkaasti sidoslujuutta halkeilun ja delaminoitumisen estämiseksi.
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.
- Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys.