Jos tarvitset grafiittisuskeptorin, jolla on poikkeuksellinen lämmönjohtavuus ja lämmönjako-ominaisuudet, etsi Semicorexin induktiivisesti lämmitettävä tynnyri Epi System for LPE Epitaxy. Sen erittäin puhdas SiC-pinnoite tarjoaa erinomaisen suojan korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä ympäristöissä, joten se on ihanteellinen valinta käytettäväksi puolijohteiden valmistussovelluksissa.
Semicorexin induktiivisesti lämmitetty tynnyri Epi -järjestelmä LPE Epitaxylle on täydellinen valinta puolijohteiden valmistussovelluksiin, jotka vaativat poikkeuksellista lämmönjakoa ja lämmönjohtavuutta. Sen erittäin puhdas piikarbidipinnoite ja erinomainen tiheys tarjoavat erinomaiset suoja- ja lämmönjakoominaisuudet varmistaen luotettavan ja tasaisen suorituskyvyn haastavimmissakin ympäristöissä.
Semicorexilla keskitymme tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia ja kustannustehokkaita tuotteita. Induktiivisesti lämmitetyllä LPE Epitaxy -tynnyrijärjestelmällämme on hintaetu, ja sitä viedään monille Euroopan ja Amerikan markkinoille. Haluamme olla pitkäaikainen kumppanisi, joka toimittaa tasalaatuisia tuotteita ja poikkeuksellista asiakaspalvelua.
Induktiivisesti lämmitetyn piipun Epi-järjestelmän parametrit LPE-epitaksia varten
CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot |
||
SiC-CVD-ominaisuudet |
||
Kristallirakenne |
FCC β -vaihe |
|
Tiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Jyvän koko |
μm |
2~10 |
Kemiallinen puhtaus |
% |
99.99995 |
Lämpökapasiteetti |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Youngin moduuli |
Gpa (4 pt bend, 1300â) |
430 |
Lämpölaajeneminen (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Lämmönjohtokyky |
(W/mK) |
300 |
Induktiivisesti lämmitetyn barrel Epi -järjestelmän ominaisuudet LPE-epitaksia varten
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on hyvä tiheys ja niillä voi olla hyvä suojaava rooli korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä.
- Yksikiteiden kasvattamiseen käytetyllä piikarbidilla päällystetyllä suskeptorilla on erittäin korkea pinnan tasaisuus.
- Pienennä lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittisubstraatin ja piikarbidikerroksen välillä, paranna tehokkaasti sidoslujuutta halkeilun ja delaminoitumisen estämiseksi.
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.
- Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys.