Jos tarvitset grafiittisuskeptoria, jolla on poikkeuksellinen lämmönjohtavuus ja lämmönjako-ominaisuudet, etsi Semicorexin induktiivisesti lämmitetty tynnyri Epi -järjestelmä. Sen erittäin puhdas SiC-pinnoite tarjoaa erinomaisen suojan korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä ympäristöissä, joten se on ihanteellinen valinta käytettäväksi puolijohteiden valmistussovelluksissa.
Semicorexin induktiivisesti lämmitetty piippu Epi System on täydellinen valinta puolijohteiden valmistussovelluksiin, jotka vaativat poikkeuksellista lämmönjakoa ja lämmönjohtavuutta. Sen erittäin puhdas piikarbidipinnoite ja erinomainen tiheys tarjoavat erinomaiset suoja- ja lämmönjakoominaisuudet varmistaen luotettavan ja tasaisen suorituskyvyn haastavimmissakin ympäristöissä.
Semicorexilla keskitymme tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia ja kustannustehokkaita tuotteita. Induktiivisesti lämmitetyllä Barrel Epi -järjestelmällämme on hintaetu, ja sitä viedään monille Euroopan ja Amerikan markkinoille. Haluamme olla pitkäaikainen kumppanisi, joka toimittaa tasalaatuisia tuotteita ja poikkeuksellista asiakaspalvelua.
Induktiivisesti lämmitetyn piipun Epi-järjestelmän parametrit
CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot |
||
SiC-CVD-ominaisuudet |
||
Kristallirakenne |
FCC p-vaihe |
|
Tiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Raekoko |
μm |
2~10 |
Kemiallinen puhtaus |
% |
99.99995 |
Lämpökapasiteetti |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Youngin Modulus |
Gpa (4 pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Lämpölaajeneminen (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Lämmönjohtavuus |
(W/mK) |
300 |
Induktiivisesti lämmitetyn Barrel Epi -järjestelmän ominaisuudet
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on hyvä tiheys ja niillä voi olla hyvä suojaava rooli korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä.
- Yksikiteiden kasvattamiseen käytetyllä piikarbidilla päällystetyllä suskeptorilla on erittäin korkea pinnan tasaisuus.
- Pienennä lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittisubstraatin ja piikarbidikerroksen välillä, paranna tehokkaasti sidoslujuutta halkeilun ja delaminoitumisen estämiseksi.
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.
- Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys.