Koti > Tuotteet > Piikarbidipinnoitettu > ICP-etsausteline > ICP plasmaetsausjärjestelmä
ICP plasmaetsausjärjestelmä

ICP plasmaetsausjärjestelmä

Semicorexin piikarbidipinnoitettu kantoaine ICP-plasmaetsausjärjestelmään on luotettava ja kustannustehokas ratkaisu korkean lämpötilan kiekkojen käsittelyprosesseihin, kuten epitaksiin ja MOCVD:hen. Kantoaineissamme on hieno SiC-kidepinnoite, joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden, tasaisen lämmön tasaisuuden ja kestävän kemiallisen kestävyyden.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Saavuta korkealaatuisimmat epitaksi- ja MOCVD-prosessit Semicorexin piikarbidilla päällystetyllä kantoaineella ICP-plasmaetsausjärjestelmään. Tuotteemme on suunniteltu erityisesti näitä prosesseja varten, ja se tarjoaa erinomaisen lämmön- ja korroosionkestävyyden. Hieno SiC-kidepinnoitteemme tarjoaa puhtaan ja sileän pinnan, mikä mahdollistaa kiekkojen optimaalisen käsittelyn.
Ota meihin yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja SiC-päällystetystä ICP-plasmaetsausjärjestelmästämme.


ICP Plasma Etching Systemin piikarbidilla päällystetyn kantoaineen parametrit

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot

SiC-CVD-ominaisuudet

Kristallirakenne

FCC p-vaihe

Tiheys

g/cm³

3.21

Kovuus

Vickersin kovuus

2500

Raekoko

μm

2~10

Kemiallinen puhtaus

%

99.99995

Lämpökapasiteetti

J kg-1 K-1

640

Sublimaatiolämpötila

2700

Feleksuaalinen voima

MPa (RT 4-piste)

415

Youngin Modulus

Gpa (4 pt bend, 1300 ℃)

430

Lämpölaajeneminen (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Lämmönjohtavuus

(W/mK)

300


ICP-plasmaetsausjärjestelmän piikarbidipinnoitteen ominaisuudet

- Vältä irroitumista ja varmista, että kaikki pinnat ovat pinnoitettuja

Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys: Stabiili korkeissa lämpötiloissa aina 1600°C asti

Korkea puhtaus: valmistettu CVD-kemiallisella höyrypinnoituksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa.

Korroosionkestävyys: korkea kovuus, tiheä pinta ja hienojakoisia hiukkasia.

Korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.

- Saavuta paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio

- Takaa lämpöprofiilin tasaisuus

- Estä kontaminaatio tai epäpuhtauksien leviäminen





Hot Tags: ICP-plasmaetsausjärjestelmä, Kiina, valmistajat, toimittajat, tehdas, räätälöity, irtotavarana, edistynyt, kestävä
Aiheeseen liittyvä luokka
Lähetä kysely
Ole hyvä ja lähetä kyselysi alla olevalla lomakkeella. Vastaamme sinulle 24 tunnin kuluessa.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept