> Tuotteet > Piikarbidipinnoitettu > ICP-etsausteline > Korkean lämpötilan piikarbidipinnoite plasmaetsauskammioihin

Tuotteet

Uudet tuotteet

Korkean lämpötilan piikarbidipinnoite plasmaetsauskammioihin

Mitä tulee kiekkojen käsittelyprosesseihin, kuten epitaksiin ja MOCVD:hen, Semicorexin korkean lämpötilan piikarbidipinnoite plasmaetsauskammioihin on paras valinta. Kantoaineemme tarjoavat erinomaisen lämmönkestävyyden, tasaisen lämpötasaisuuden ja kestävän kemiallisen kestävyyden hienon piikarbidikidepinnoitteemme ansiosta.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Me Semicorexilla ymmärrämme korkealaatuisten kiekkojen käsittelylaitteiden tärkeyden. Siksi plasmaetsauskammioiden korkean lämpötilan SiC-pinnoitteemme on suunniteltu erityisesti korkeita lämpötiloja ja ankaria kemiallisia puhdistusympäristöjä varten. Kantoaineemme tarjoavat tasaiset lämpöprofiilit, laminaariset kaasuvirtauskuviot ja estävät kontaminaation tai epäpuhtauksien diffuusion.
Ota yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja korkean lämpötilan piikarbidipinnoitteestamme plasmaetsauskammioihin.

Plasmaetsauskammioiden korkean lämpötilan piikarbidipinnoitteen parametrit

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC Î² -vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Jyvän koko	Î¼m	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin moduuli	Gpa (4 pt bend, 1300â)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtokyky	(W/mK)	300

Korkean lämpötilan piikarbidipinnoitteen ominaisuudet plasmaetsauskammioihin

- Vältä irroitumista ja varmista, että kaikki pinnat ovat pinnoitettuja

Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys: Stabiili korkeissa lämpötiloissa aina 1600°C asti

Korkea puhtaus: valmistettu CVD-kemiallisella höyrypinnoituksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa.

Korroosionkestävyys: korkea kovuus, tiheä pinta ja hienojakoisia hiukkasia.

Korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.

- Saavuta paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio

- Takaa lämpöprofiilin tasaisuus

- Estä kontaminaatio tai epäpuhtauksien leviäminen

Hot Tags: Korkean lämpötilan piikarbidipinnoite plasmaetsauskammioihin, Kiina, valmistajat, toimittajat, tehdas, räätälöity, irtotavarana, edistynyt, kestävä