Puolijohteiden valmistuksessa korkean lämpötilan piikarbidilla päällystetty Semicorex-tynnyrin susceptori on paras valinta erinomaisen suorituskyvyn ja luotettavuuden saavuttamiseksi. Sen korkealaatuinen SiC-pinnoite ja poikkeuksellinen lämmönjohtavuus tekevät siitä ihanteellisen käytettäväksi vaativimmissakin korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä ympäristöissä.
Semicorexin korkean lämpötilan piikarbidilla päällystetty tynnyrisuskeptori on täydellinen valinta yksikiteiden kasvuun ja muihin puolijohteiden valmistussovelluksiin, jotka vaativat korkeaa lämmön- ja korroosionkestävyyttä. Sen piikarbidipinnoite tarjoaa erinomaiset suoja- ja lämmönjako-ominaisuudet varmistaen luotettavan ja tasaisen suorituskyvyn haastavimmissakin ympäristöissä.
Semicorexilla keskitymme tarjoamaan korkealaatuisia, kustannustehokkaita korkean lämpötilan piikarbidilla päällystettyjä tynnyrisuskeptoreita, asetamme etusijalle asiakastyytyväisyyden ja tarjoamme kustannustehokkaita ratkaisuja. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi, joka toimittaa korkealaatuisia tuotteita ja poikkeuksellista asiakaspalvelua.
Korkean lämpötilan piikarbidilla päällystetyn piipun suskeptorin parametrit
CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot |
||
SiC-CVD-ominaisuudet |
||
Kristallirakenne |
FCC p-vaihe |
|
Tiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Raekoko |
μm |
2~10 |
Kemiallinen puhtaus |
% |
99.99995 |
Lämpökapasiteetti |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Youngin Modulus |
Gpa (4 pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Lämpölaajeneminen (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Lämmönjohtavuus |
(W/mK) |
300 |
Korkean lämpötilan piikarbidilla päällystetyn tynnyrisuskeptorin ominaisuudet
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on hyvä tiheys ja niillä voi olla hyvä suojaava rooli korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä.
- Yksikiteiden kasvattamiseen käytetyllä piikarbidilla päällystetyllä suskeptorilla on erittäin korkea pinnan tasaisuus.
- Pienennä lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittisubstraatin ja piikarbidikerroksen välillä, paranna tehokkaasti sidoslujuutta halkeilun ja delaminoitumisen estämiseksi.
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.
- Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys.