Semicorex Durable SiC Coated Barrel Susceptor for LPE on erinomainen tiheys ja lämmönjohtavuus, joten se on ihanteellinen valinta käytettäväksi LPE-prosesseissa ja muissa puolijohteiden valmistussovelluksissa. Sen erittäin puhdas SiC-pinnoite tarjoaa erinomaiset suoja- ja lämmönjako-ominaisuudet, joten se on paras valinta luotettavien ja tasaisten tulosten saamiseksi.
Jos tarvitset korkealaatuista grafiittisuskeptoria, jolla on erinomainen lämmön- ja korroosionkestävyys, etsi Semicorex Durable SiC Coated Barrel Susceptor LPE:lle. Sen piikarbidipinnoite tarjoaa poikkeuksellisen lämmönjohtavuuden ja lämmön jakautumisen varmistaen luotettavan ja tasaisen suorituskyvyn vaativimmissakin korkeissa lämpötiloissa.
Kestävä piikarbidilla päällystetty tynnyrisuskeptorimme LPE:lle on suunniteltu saavuttamaan paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio, mikä varmistaa lämpöprofiilin tasaisuuden. Tämä auttaa estämään kontaminaatiota tai epäpuhtauksien leviämistä varmistaen korkealaatuisen epitaksiaalisen kasvun kiekon sirulla.
Ota meihin yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja kestävästä SiC-pinnoitetusta tynnyristämme LPE:lle.
Kestävän piikarbidilla päällystetyn tynnyrisuskeptorin parametrit LPE:lle
CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot |
||
SiC-CVD-ominaisuudet |
||
Kristallirakenne |
FCC β -vaihe |
|
Tiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Jyvän koko |
μm |
2~10 |
Kemiallinen puhtaus |
% |
99.99995 |
Lämpökapasiteetti |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Youngin moduuli |
Gpa (4 pt bend, 1300â) |
430 |
Lämpölaajeneminen (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Lämmönjohtokyky |
(W/mK) |
300 |
Kestävän piikarbidilla päällystetyn tynnyrin suskeptorin ominaisuudet LPE:lle
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on hyvä tiheys ja niillä voi olla hyvä suojaava rooli korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä.
- Yksikiteiden kasvattamiseen käytetyllä piikarbidilla päällystetyllä suskeptorilla on erittäin korkea pinnan tasaisuus.
- Pienennä lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittisubstraatin ja piikarbidikerroksen välillä, paranna tehokkaasti sidoslujuutta halkeilun ja delaminoitumisen estämiseksi.
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.
- Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys.