Erinomaisen tiheytensä ja lämmönjohtavuutensa ansiosta Semicorex Durable SiC Coated Barrel Susceptor on ihanteellinen valinta käytettäväksi epitaksiaalisissa prosesseissa ja muissa puolijohteiden valmistussovelluksissa. Sen erittäin puhdas SiC-pinnoite tarjoaa erinomaiset suoja- ja lämmönjako-ominaisuudet, joten se on paras valinta luotettavien ja tasaisten tulosten saamiseksi.
Jos tarvitset korkealaatuista grafiittisuskeptoria, jolla on erinomainen lämmön- ja korroosionkestävyys, etsi Semicorex Durable SiC Coated Barrel Susceptor. Sen piikarbidipinnoite tarjoaa poikkeuksellisen lämmönjohtavuuden ja lämmön jakautumisen varmistaen luotettavan ja tasaisen suorituskyvyn vaativimmissakin korkeissa lämpötiloissa.
Kestävä piikarbidilla päällystetty tynnyri suskeptorimme on suunniteltu saavuttamaan paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio, mikä varmistaa lämpöprofiilin tasaisuuden. Tämä auttaa estämään kontaminaatiota tai epäpuhtauksien leviämistä varmistaen korkealaatuisen epitaksiaalisen kasvun kiekon sirulla.
Ota meihin yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja kestävästä SiC-pinnoitetusta tynnyrisusceptoristamme.
Kestävän piikarbidilla päällystetyn piipun suskeptorin parametrit
CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot |
||
SiC-CVD-ominaisuudet |
||
Kristallirakenne |
FCC p-vaihe |
|
Tiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Raekoko |
μm |
2~10 |
Kemiallinen puhtaus |
% |
99.99995 |
Lämpökapasiteetti |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Youngin Modulus |
Gpa (4 pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Lämpölaajeneminen (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Lämmönjohtavuus |
(W/mK) |
300 |
Kestävän piikarbidilla päällystetyn tynnyrin susceptorin ominaisuudet
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on hyvä tiheys ja niillä voi olla hyvä suojaava rooli korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä.
- Yksikiteiden kasvattamiseen käytetyllä piikarbidilla päällystetyllä suskeptorilla on erittäin korkea pinnan tasaisuus.
- Pienennä lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittisubstraatin ja piikarbidikerroksen välillä, paranna tehokkaasti sidoslujuutta halkeilun ja delaminoitumisen estämiseksi.
- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.
- Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys.