Tynnyrisuskeptori nestefaasin epitaksiaan

Jos tarvitset grafiittisuskeptoria, joka toimii luotettavasti ja tasaisesti vaativimmissakin korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä ympäristöissä, Semicorex Barrel Susceptor for Liquid Phase Epitaxy on täydellinen valinta. Sen piikarbidipinnoite tarjoaa erinomaisen lämmönjohtavuuden ja lämmön jakautumisen, mikä varmistaa poikkeuksellisen suorituskyvyn puolijohteiden valmistussovelluksissa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorex Barrel Susceptor for Liquid Phase Epitaxy on paras valinta puolijohteiden valmistussovelluksiin, jotka vaativat korkeaa lämmön- ja korroosionkestävyyttä. Sen erittäin puhdas SiC-pinnoite ja poikkeuksellinen lämmönjohtavuus tarjoavat erinomaiset suoja- ja lämmönjakoominaisuudet varmistaen luotettavan ja tasaisen suorituskyvyn haastavimmissakin ympäristöissä.

Barrel Susceptor for Liquid Phase Epitaxy on suunniteltu saavuttamaan paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio, mikä varmistaa lämpöprofiilin tasaisuuden. Tämä auttaa estämään kontaminaatiota tai epäpuhtauksien leviämistä varmistaen korkealaatuisen epitaksiaalisen kasvun kiekon sirulla.

Ota meihin yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja tynnyrisuskeptoristamme nestefaasiepitaksiaan.

Tynnyrisuskeptorin parametrit nestefaasiepitaksialle

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC p-vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Raekoko	μm	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J kg-1 K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin Modulus	Gpa (4 pt bend, 1300 ℃)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtavuus	(W/mK)	300

Barrel Susceptorin ominaisuudet nestefaasiepitaksiaa varten

- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on hyvä tiheys ja niillä voi olla hyvä suojaava rooli korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä.

- Yksikiteiden kasvattamiseen käytetyllä piikarbidilla päällystetyllä suskeptorilla on erittäin korkea pinnan tasaisuus.

- Pienennä lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittisubstraatin ja piikarbidikerroksen välillä, paranna tehokkaasti sidoslujuutta halkeilun ja delaminoitumisen estämiseksi.

- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.

- Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys.