Tynnyrirakenne puolijohdeepitaksiaaliselle reaktorille

Semicorex Barrel Structure for Semiconductor Epitaxial Reactor on paras valinta tehokkaisiin grafiittisuskeptorisovelluksiin, jotka vaativat poikkeuksellista lämmön- ja korroosionkestävyyttä. Sen erittäin puhdas piikarbidipinnoite sekä erinomainen tiheys ja lämmönjohtavuus tarjoavat erinomaiset suoja- ja lämmönjakoominaisuudet varmistaen luotettavan ja tasaisen suorituskyvyn haastavimmissakin ympäristöissä.

Puolijohdeepitaksiaalisten reaktorien tynnyrirakenne on suunniteltu saavuttamaan paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio, mikä varmistaa lämpöprofiilin tasaisuuden. Tämä auttaa estämään kontaminaatiota tai epäpuhtauksien leviämistä varmistaen korkealaatuisen epitaksiaalisen kasvun kiekon sirulla.

Ota yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja puolijohdeepitaksiaalisten reaktorien piippurakenteestamme.

Semiconductor Epitaxial Reactorin piipurakenteen parametrit

Puolijohdeepitaksiaalisten reaktorien piipurakenteen ominaisuudet

- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on hyvä tiheys ja niillä voi olla hyvä suojaava rooli korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä työympäristöissä.

- Yksikiteiden kasvattamiseen käytetyllä piikarbidilla päällystetyllä suskeptorilla on erittäin korkea pinnan tasaisuus.

- Pienennä lämpölaajenemiskertoimen eroa grafiittisubstraatin ja piikarbidikerroksen välillä, paranna tehokkaasti sidoslujuutta halkeilun ja delaminoitumisen estämiseksi.

- Sekä grafiittisubstraatilla että piikarbidikerroksella on korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.

- Korkea sulamispiste, korkean lämpötilan hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys.