Semicorexin rengasuritetut alumiinioksidiistukat, jotka on erityisesti suunniteltu erittäin tarkkoihin kiekkojen kiinnitys- ja adsorptiojärjestelmiin, ovat tehokkaita tyhjiökiinnityskomponentteja, joita käytetään huippuluokan puolijohdekiekkojen valmistuksessa. Semicorexin valinta, optimaalisten kiekkojen kiinnitysratkaisujen valinta.
Semicorexin rengasuritetut alumiinioksidiistukat ottavat pintarakenteen, joka koostuu useista samankeskisista rengasmaisista urista. Yhdistettynä tyhjiöpumppuun nämä urat muodostavat renkaan muotoisia alipainevyöhykkeitä pitämään ohuet kiekot ja työkappaleet vakaasti tarkasti paikoillaan. Semicorexin rengasuritetut alumiinioksidiistukat toimivat hyvin työolosuhteissa, joissa vaaditaan tiukkaa tasaisuuden hallintaa ja tasaisesti jakautunutta adsorptiovoimaa, joita käytetään laajalti kiekkojen pitämisessä, valotusasennossa, plasmaetsauksessa sekä kiekkojen tarkastus- ja siirtoprosesseissa.
Tiivistyssintrauksella valmistetulla alumiinioksidikeramiikalla on huomattava lämpötehokkuus. Tämän materiaalin ominaisuuden ansiosta Semicorexin rengasuritetut alumiinioksidiistukat toimivat vakaasti äärimmäisen korkeissa lämpötiloissa ilman rakenteellisia muodonmuutoksia ja suorituskyvyn heikkenemistä pitkäaikaisessa käytössä.
Semicorex rengasuritettualumiinioksidiistukatNiiden adsorptiopinnalla on useita rengasmaisia uria, joihin muodostuu vakaat renkaan muotoiset tyhjiövyöhykkeet. Tämä konfiguraatio mahdollistaa tasaisen adsorptiovoiman kiekkojen pääkosketusalueilla, mikä vähentää merkittävästi kiekon osittaista muodonmuutosta ja vääntymistä.
Ylivoimaisen materiaalin jäykkyyden ja rakenteellisen vakauden ansiosta Semicorexin rengasmaiset alumiinioksidiistukat pystyvät säilyttämään erinomaisen tasaisuuden ja tasaisen paikannustarkkuuden toistuvan tyhjiökiinnityksen aikana pitkään.
KoskaalumiinioksidiLuotettavan kemiallisen stabiilisuuden ansiosta Semicorexin rengasuritetut alumiinioksidiistukat kestävät erinomaisesti useimpia happamia ja emäksisiä aineita sekä erilaisia syövyttäviä prosessikaasuja, ja ne ovat erittäin mukautettuja haastaviin syövyttäviin käyttöolosuhteisiin.
Tiukan materiaalin puhtauden valvonnan ja tiivistyskäsittelyn ansiosta Semicorexin rengasuritetut alumiinioksidiistukat irrottavat harvoin hiukkasia tai vapauttavat epäpuhtauksia käytössä, mikä täyttää täysin puolijohdepuhdastiloissa asetetut tiukat matalan kontaminaatiostandardit.
Alan johtavana yrityksenä Kiinassa Semicorexilla on integroituja tuotantolinjoja ja kokenut tekninen tiimi. Voimme tarjota asiakkaillemme räätälöityä teknistä tukea ja optimoituja prosessiratkaisuja ja tarjota heille renkaanmuotoisten alumiinioksidiistukkaidemme ei-standardin mukaisen räätälöidyn valmistuksen materiaalin puhtauden, istukan muodon, mittojen, tasaisuuden, toleranssien ja muiden vaatimusten mukaan.