Sähköstaattinen istukka

Erittäin puhdasta alumiinioksidikeramiikkaa hyödyntävä Semicorex Electrostaattinen istukka tarjoaa huippuluokan suorituskyvyn asetuksissa, joissa etusijalla on tarkkuus, vakaus ja puhtaus. Alumiinioksidi, joka tunnetaan myös nimellä alumiinioksidi (Al2O3), on keraaminen materiaali, joka tunnetaan poikkeuksellisista sähköeristysominaisuuksistaan, korkeasta lämmönjohtavuudestaan ​​ja erinomaisesta mekaanisesta lujuudestaan. Nämä ominaisuudet tekevät siitä ihanteellisen materiaalin sähköstaattisen istukan rakentamiseen, joka on suunniteltu kestämään puolijohdekäsittelyn vaativia olosuhteita. Alumiinioksidikeraaminen ESC on suunniteltu kestämään korkeita lämpötiloja, syövyttäviä ympäristöjä ja mekaanista rasitusta kiekkojen käsittelyn ja prosessoinnin aikana, ja sillä on ratkaiseva rooli puolijohdelaitteiden tuoton ja laadun varmistamisessa.

Sähköstaattisen istukan perusperiaate on sähköstaattinen voima, jota käytetään pitämään kiekko tukevasti paikallaan. Tämä voima syntyy kohdistamalla jännite keraamiseen materiaaliin upotettuihin elektrodeihin. Sähköstaattisen kentän ja kiekon pinnalla indusoituneiden varausten välinen vuorovaikutus muodostaa vahvan puristusvoiman, joka pitää kiekon istukan pintaa vasten. Alumiinioksidikeraamisen ESC:n muotoilu varmistaa, että tämä puristusvoima jakautuu tasaisesti kiekon poikki, mikä minimoi liukastumis- tai vaurioitumisriskin käsittelyn aikana.

Yksi tärkeimmistä eduista alumiinioksidikeramiikan käyttämisessä sähköstaattisen istukan rakenteessa on sen poikkeukselliset sähköä eristävät ominaisuudet. Alumiinioksidin korkea dielektrinen lujuus mahdollistaa korkeiden jännitteiden käytön ilman sähkökatkon riskiä, ​​mikä on ratkaisevan tärkeää sähköstaattisen kentän eheyden ylläpitämiseksi. Tämä on erityisen tärkeää prosesseissa, kuten plasmaetsaus tai kemiallinen höyrypinnoitus, joissa kiekko altistuu erittäin reaktiivisille ympäristöille ja mikä tahansa puristusvoiman vaihtelu voi aiheuttaa vikoja tai vaurioita kiekossa.

Sähköisten ominaisuuksiensa lisäksi alumiinioksidikeraamilla on erinomainen lämmönjohtavuus, mikä on välttämätöntä puolijohdekäsittelyn aikana syntyvän lämmön hallinnassa. Sähköstaattisen istukan kyky poistaa lämpöä tehokkaasti auttaa ylläpitämään vakaata lämpötilaa kiekon poikki, mikä vähentää lämpögradientteja, jotka voivat johtaa vääntymiseen tai muuhun lämpörasitukseen. Tämä lämpöstabiilius on kriittinen prosessien, kuten fotolitografian, tarkkuuden ja toistettavuuden varmistamisessa, joissa pienetkin lämpötilapoikkeamat voivat vaikuttaa lopputulokseen.