Kiekkolatausvarsi

Wafer Loader Arm on valmistettu erittäin puhtaista alumiinioksidikeraamisista materiaaleista, mikä takaa poikkeuksellisen puhtaustason, joka on ratkaisevan tärkeä puolijohteiden valmistuksessa. Keramiikan korkea puhtaus minimoi kontaminaatioriskin, mikä on välttämätöntä kiekkojen eheyden säilyttämiseksi käsittelyn aikana. Tämä ylivoimainen puhtaus on välttämätöntä ympäristöissä, joissa pienimmätkin epäpuhtaudet voivat vaikuttaa merkittävästi lopputuotteen laatuun.

Yksi Semicorexin Wafer Loader Arm -varren erottuvista ominaisuuksista on sen tarkka valmistus, jonka toleranssit ovat jopa ±0,001 mm. Tämä mittatarkkuuden taso varmistaa, että varsi pystyy käsittelemään kiekkoja poikkeuksellisen tarkasti, mikä vähentää väärinkäsittelyn tai virheellisen kohdistuksen riskiä kriittisten käsittelyvaiheiden aikana. Tarkat mitat varmistavat myös yhteensopivuuden olemassa olevien laitteiden kanssa, mikä helpottaa saumatonta integrointia nykyisiin valmistusasetuksiin.

Wafer Loader -varressa käytetyllä alumiinioksidikeramiikalla on huomattava korkeiden lämpötilojen kestävyys, ja ne kestävät jopa 1600 °C:n lämpötiloja. Tämä ominaisuus on tärkeä sovelluksissa korkeissa lämpötiloissa, mikä varmistaa, että varsi säilyttää muotonsa ja rakenteellisen eheyden lämpörasituksen alaisena. Pienempi taipuma korkeissa lämpötiloissa lisää kiekkojen käsittelyn luotettavuutta ja tarkkuutta vaativimmissakin lämpöolosuhteissa.

Puolijohdeprosesseissa, kuten puhdistuksessa ja syövytyksessä, Wafer Loader Arm osoittaa erinomaisen korroosionkestävyyden erilaisia ​​kemiallisia nesteitä vastaan. Alumiinioksidikeraaminen materiaali pysyy vakaana ja säilyttää suorituskykynsä altistuessaan aggressiivisille kemiallisille ympäristöille. Tämä korroosionkestävyys pidentää varren käyttöikää, mikä vähentää toistuvien vaihto- ja huoltotarvetta, mikä lisää yleistä tehokkuutta.

Wafer Loader -varren pinnan laatua valvotaan huolellisesti, ja sen karheuskeskiarvo (Ra) on 0,1, eikä siinä ole metallikontaminaatiota ja hiukkasia. Tämä korkea pinnanlaatu varmistaa, että kiekkoja käsitellään hellävaraisesti, mikä estää naarmuja, kontaminaatiota ja muita pintavirheitä, jotka voivat vaarantaa kiekon toimivuuden. Koskemattoman pinnan säilyttäminen on erittäin tärkeää äärimmäistä tarkkuutta ja puhtautta vaativissa prosesseissa.

Alumiinioksidikeraaminen materiaali tarjoaa kulutuskestävyyden, joka ylittää huomattavasti perinteisten materiaalien, kuten teräksen ja kromiteräksen, kulutuskestävyyden. Tämä poikkeuksellinen kulutuskestävyys varmistaa, että Wafer Loader -varsi kestää pitkäaikaista käyttöä ilman merkittävää heikkenemistä ja säilyttää tarkkuutensa ja tehokkuutensa ajan mittaan. Vähentynyt kuluminen alentaa myös käyttökustannuksia minimoimalla toistuvien osien vaihdon tarpeen.

Vahvuudestaan ​​huolimatta Wafer Loader Varsi on kevyt, mikä vähentää tehokkaasti laitteiden kuormitusta. Tämä painonpudotus ei ainoastaan ​​paranna kiekkojen käsittelyjärjestelmän yleistä tehokkuutta, vaan myös pidentää siihen liittyvien koneiden käyttöikää. Kevyempi paino mahdollistaa sujuvammat ja nopeammat liikkeet, mikä parantaa kiekkojen käsittelyprosessin suorituskykyä ja luotettavuutta.