Alumiinioksidikeraamiset kiekkojen istukat

Semicorex Alumina Ceramic Wafer -kiekkojen monihuokoisuus tarjoaa suuren ominaispinta-alan, mikä tarkoittaa, että käytettävissä on enemmän pintaa vuorovaikutukseen kohdekohteen kanssa. Suuri huokoisuus parantaa osaltaan adsorptiokykyä, mikä mahdollistaa kiekkojen turvallisen ja tasaisen pidon jauhamisen aikana. Tämä tasaisuus on välttämätöntä korkealaatuisten, virheettömien kiekkopintojen saavuttamiseksi, mikä on puolijohteiden valmistuksen perusvaatimus.

Alumiinioksidikeraamiset kiekkoistukat osoittavat hyvää lämmönjohtavuutta, mikä on välttämätöntä lämmön tehokkaalle hajauttamiselle hiontaprosessin aikana. Tämä lämmönhallinta estää sekä istukan että työkappaleen vaurioitumisen, mikä varmistaa kiekkojen valmistuksen suuren tarkkuuden. Lisäksi Alumina Ceramic Wafer Chucksin kyky kestää korkeita lämpötiloja ilman muodonmuutoksia tai rakenteellisen eheyden menetystä tekee niistä sopivia sovelluksiin, jotka toimivat äärimmäisissä olosuhteissa, kuten puolijohdekäsittelylaitteisiin.

Alumiinioksidikeraamisten kiekkojen inertti luonne antaa vahvan korroosionkestävyyden useiden kemikaalien vaikutuksesta. Tämä syövyttävien aineiden kestävyys ei ole ratkaisevan tärkeää vain istukan eheyden säilyttämiseksi, vaan myös kiekkojen kontaminoitumisen estämiseksi käsittelyn aikana. Kemiallinen stabiilisuus varmistaa, että alumiinioksidikeraamiset kiekot eivät reagoi prosessikemikaalien tai käsiteltävän materiaalin kanssa, mikä on ensiarvoisen tärkeää puolijohteiden valmistuksessa ja muissa herkissä sovelluksissa.