Kiinteä piikarbidi-tarkennusrengas

Semicorex Solid Silicon Carbide Focusing Ring on keskeinen komponentti puolijohteiden valmistuksessa, ja se on sijoitettu strategisesti kiekon ulkopuolelle suoran kosketuksen ylläpitämiseksi. Hyödyntämällä kohdistettua jännitettä tämä rengas fokusoi sen läpi kulkevan plasman, mikä parantaa kiekon prosessin tasaisuutta. Tämä tarkennusrengas on valmistettu yksinomaan kemiallisesta höyrypinnoituspiikarbidista (CVD SiC), ja se ilmentää puolijohdeteollisuuden vaatimia poikkeuksellisia ominaisuuksia. Me Semicorexilla olemme sitoutuneet valmistamaan ja toimittamaan korkean suorituskyvyn täyspiikarbidista fokusointirengasta, joka yhdistää laadun ja kustannustehokkuuden.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Puolijohteiden valmistuksessa Semicorex Solid Silicon Carbide Focusing Ring on ratkaisevassa roolissa, sillä se toimii suojana ja säilyttää kiekon eheyden etsausprosessin aikana. Sen huolellisesti suunniteltu muotoilu varmistaa tarkan ja tasaisen etsauksen, mikä helpottaa erittäin monimutkaisten puolijohdeelementtien tuotantoa, jotka osoittavat erinomaisen suorituskyvyn ja luotettavuuden.

Piikarbidi on valittu materiaali fokusointirenkaaksi, koska se kestää erinomaisesti plasman korroosiota, kun se altistuu plasmalle tyhjiöreaktiokammiossa. Kiinteä piikarbidifokusointirengas ylittää perinteisen piin useissa asioissa, mukaan lukien:

(1) Suuri tiheys, joka minimoi etsausnopeudet.

(2) Ylivoimainen nauhaväli ja erinomaiset eristysominaisuudet.

(3) Poikkeuksellinen lämmönjohtavuus, alhainen lämpölaajenemiskerroin ja lämpöiskun kestävyys.

(4) Korkea elastisuus yhdistettynä erinomaiseen mekaanisten iskujen kestävyyteen.

(5) Erinomainen kovuus, kulutuskestävyys ja korroosionkestävyys.

Piikarbidin johtavuus ja ionisyövytyskestävyys muistuttavat piitä, joten Solid Silicon Carbide Focusing Ring on ihanteellinen materiaali tähän sovellukseen.

Semicorex Solid Silicon Carbide Focusing Ring on huippuluokan ratkaisu puolijohteiden valmistuksen alalla. Se hyödyntää CVD SiC:n ainutlaatuisia ominaisuuksia helpottaakseen luotettavia ja tehokkaita etsausprosesseja, mikä edistää merkittävästi puolijohdeteknologian kehitystä.