Piikarbidin tarkennusrenkaat

Piikarbidin tarkennusrenkaatasennetaan yleensä etsauslaitteiston reaktiokammioon, joka on sijoitettu sähköstaattisen istukan kiekkojen tukipinnan ympärille. Tämä asennusjärjestely voi onnistuneesti täyttää kiekon reunan ja elektrodin välisen korkeuseron, keskittää plasman reaktiokammiossa kiekon pintaan tasaisen syövytyksen saavuttamiseksi ja estää myös plasman diffuusion kiekon reunasta ulospäin, jotta vältetään kiekon reunan ylisyövytys.

Laadukkaat etsauskomponentit voivat tarjota vakaan sähkökentän ympäristön etsausprosessille. Semicorexin piikarbidin tarkennusrenkaat on valmistettu korkean suorituskyvyn tuotteistapiikarbidimateriaalitkemiallisen höyrysaostuksen kautta. Tarkennusrenkaamme pystyvät säätämään sähkökentän jakautumista kiekon ympärillä vähentäen merkittävästi etsauspoikkeamia tai epätasaisten sähkökenttien aiheuttamia purkausilmiöitä.

Puolijohdekiekot ovat helposti herkkiä hiukkaskontaminaatiolle, joten plasmaetsausprosessit on suoritettava ultrapuhtaissa ionisyövytysreaktiokammioissa. Syövytyslaitteiden pääkomponenttina piikarbidin tarkennusrenkaat joutuvat suoraan kosketukseen kiekon reunan kanssa varsinaisessa käytössä, mikä edellyttää myös erittäin korkeiden puhtausstandardien täyttämistä. Semicorexin piikarbidifokusointirenkaat tarjoavat korkean puhtauden ja alhaisen epäpuhtauspitoisuuden edut, jotka täyttävät tarkasti puolijohdeetsausprosessien tiukat puhtausvaatimukset. Tämä vähentää merkittävästi kiekkojen vikoja ja parantaa kiekkojen tuotantoa.

Plasmasyövytysprosessin aikana syövytetään syövytyskaasuja, kuten fluoria ja happea, reaktiokammioon. Prosessikaasujen aiheuttama pitkäaikainen korroosio haastaa etsauslaitteiston kemiallisen korroosionkestävyyden. Piikarbidi on ylivoimaisen plasmakorroosionkestävyyden ansiosta optimaalinen materiaalivalinta tarkennusrenkaiden valmistukseen. Pienentämällä korroosion aiheuttamien komponenttien vaurioiden mahdollisuutta ja minimoimalla toistuvan vaihdon ja huollon tarpeen piikarbidin fokusrenkaat voivat lisätä merkittävästi puolijohdekiekkojen valmistuksen tehokkuutta.