SiC-lämmitysfilamentti

Semicorex SiC Heating Filament, korkeatyhjiölämmityselementti, joka on kehitetty kiekkojen käsittelyyn uusissa puolijohdevalmistuksessa, on innovatiivinen lämmityselementti, joka on suunniteltugrafiittiydinja erittäin puhdastapiikarbidipinnoite. Erityinen filamentti hyödyntää grafiitin lämmönjohtavuutta ja piikarbidin kestävyyttä ja suojaa, mikä johtaa vakaaseen ja energiatehokkaaseen lämmittimeen ajan mittaan. SiC Heating Filament on suunniteltu lämmittämään kiekkoja tasaisesti ja saavuttamaan spesifikaatiot, mikä tekee siitä erinomaisen komponentin korkean lämpötilan puolijohteiden käsittelyyn, kuten epitaksia, diffuusiota ja hehkutusta.

SiC-lämmitysfilamentti on valmistettu erittäin puhtaasta grafiitista grafiitin lämpöominaisuuksien ja laadukkaiden sähköominaisuuksien vuoksi. Grafiitti tarjoaa päälämmitystoiminnon, joka mahdollistaa nopean reagoinnin ja tehokkaan lämmityksen sähkökuormalla. Tiheä ja erittäin puhdas SiC-pinnoite suojaa filamenttia mahdollisilta kontaminaatiolähteiltä. SiC-pinnoite suojaa kiekkoa kemialliselta kontaminaatiolta ja hapettumiselta sekä kammiossa olevilta hiukkasilta, pidentää filamentin käyttöikää ja luo puhtaan kammioympäristön.

SiC Heating Filamentin keskeinen laatu on kyky tuottaa kiekon tasaista kuumennusta. Lämpötilavaihtelut kiekkojen välillä voivat aiheuttaa vikoja tai tuoton menetystä. SiC-lämmitysfilamentilla on erinomainen lämmönjohtavuus, ja hehkulangan kiinteä rakenne varmistaa, että lämpö on vakaata ja tasaisempaa, rajoittaen lämpögradientteja absoluuttiseen prosessin hallintaan.

SiC Heating Filament on muokattavissa, kunkin hehkulangan sähkövastusarvo voidaan räätälöidä sen prosessityökalun ja käyttöympäristön mukaan. Tämä räätälöinti mahdollistaa piikarbiditekniikan säätelevän filamentin geometrian, pinnoitteen paksuuden ja materiaaliominaisuuksien vastusarvoa. SiC-lämmitysfilamentti sopii useisiin erilaisiin uuneihin, joissa on useita erilaisia ​​kiekkokokoja ja prosessireseptejä. Tämä on erityisen edullista puolijohdevalmistajille, koska se mahdollistaa nykyisten prosessien tehokkaamman toiminnan ja säilyttää yhteensopivuuden jo olemassa olevien järjestelmien kanssa.  Kolmas suorituskyvyn ominaisuus on kestävyys. Korkean lämpötilan puolijohdeprosesseissa lämmityselementti altistuu erittäin aggressiivisille kemiallisille ympäristöille ja toistuville lämpökierroksille.

Semicorex SiC Heating Filamentin sovellukset kattavat laajan valikoiman puolijohdelaitteiden valmistusprosesseja. Esimerkiksi epitaksiaalisen kasvun aikana lämmityselementti tarjoaa vakaan ja tasaisen substraattilämpötilan korkealaatuisten kiteisten kalvojen kerrostamiseksi.