MOCVD lämmitin

Tämä lämmitin on valmistettu erittäin puhtaasta grafiitista, jonka epäpuhtauksien tasot on säädetty huolellisesti alle 5 miljoonasosaan (ppm). Grafiitti päällystetään sitten kemiallisella höyrypinnoitusmenetelmällä (CVD) piikarbidilla (SiC), jonka puhtausaste on yli 99,99995 %. Tämä materiaaliyhdistelmä antaa lämmittimelle ainutlaatuiset ominaisuudet, jotka ovat välttämättömiä optimaalisen suorituskyvyn saavuttamiseksi metalli-orgaanisen kemiallisen höyrypinnoitusprosesseissa (MOCVD).

Yksi Semicorex MOCVD Heater -lämmittimen merkittävimmistä ominaisuuksista on sen poikkeuksellinen kemiallinen puhtaus. Erittäin puhdas grafiittiydin minimoi merkittävästi epäpuhtauksien pääsyn korkean lämpötilan prosesseihin, mikä varmistaa erittäin puhtaiden ohuiden kalvojen kerrostumisen. CVD SiC -pinnoite lisää tätä puhtautta entisestään ja tarjoaa vankan esteen kemiallisilta vuorovaikutuksilta, jotka voivat vaarantaa kerrostuneiden kerrosten eheyden. Tämä korkea kemiallinen puhtaus on ratkaisevan tärkeää valmistettaessa puolijohdelaitteita, joilla on erinomainen suorituskyky ja luotettavuus.

Lisäksi lämmitin on erittäin kestävä ja lämpötehokas, ja se kestää MOCVD-prosesseille tyypillisiä äärimmäisiä lämpöolosuhteita. SiC:n luontaiset ominaisuudet, kuten sen korkea sulamispiste ja lämmönjohtavuus, edistävät lämmittimen kykyä hallita ja jakaa lämpöä tehokkaasti. Tämä lämpötehokkuus varmistaa tasaisen lämpenemisen alustalla, mikä on välttämätöntä homogeenisen kalvon muodostumisen saavuttamiseksi ja lämpögradienttien minimoimiseksi, jotka voivat johtaa virheisiin.

Sähkönjohtavuus on toinen alue, jolla Semicorex MOCVD Heater on erinomainen. Erittäin puhdas grafiittiydin tarjoaa erinomaisen sähkönjohtavuuden, minkä ansiosta lämmitin pystyy käsittelemään helposti suuria sähkökuormia. Tämä ominaisuus on erityisen tärkeä MOCVD-prosesseissa, jotka vaativat tarkkaa lämpötilan ja kerrostumisnopeuksien hallintaa. Lämmittimen kyky ylläpitää vakaa sähköinen suorituskyky suurilla kuormituksilla varmistaa tasaiset ja toistettavat prosessiolosuhteet, jotka ovat tärkeitä korkean tuoton puolijohteiden valmistuksessa.

Lämmittimen tasainen pinta on huolellisesti suunniteltu tarjoamaan korkeampi emissiokyky substraattia kohti, mikä parantaa säteilylämmönsiirron tehokkuutta. Tämä suunnitteluominaisuus varmistaa, että alusta lämpenee tasaisesti, mikä on kriittistä korkealaatuisten ohuiden kalvojen aikaansaamiseksi, joiden paksuus ja ominaisuudet ovat tasaiset. Korkea emissiokykyinen pinta edistää myös lämmittimen yleistä lämpöhyötysuhdetta, mikä vähentää energiankulutusta ja käyttökustannuksia.

Kestävyyden kannalta Semicorex MOCVD Heater tarjoaa poikkeuksellisen korroosionkestävyyden, hapettuvuuden ja korkean mekaanisen lujuuden. CVD SiC -pinnoite tarjoaa vankan suojakerroksen, joka vastustaa syövyttäviä kaasuja ja kemikaaleja, joita yleisesti esiintyy MOCVD-prosesseissa. Tämä korroosionkestävyys pidentää lämmittimen käyttöikää ja vähentää ylläpito- ja vaihtokustannuksia. Lämmittimen hapettumattomuus varmistaa, että se pysyy vakaana eikä hajoa edes korkeissa lämpötiloissa, säilyttäen sen suorituskyvyn ja rakenteellisen eheyden pitkiä käyttöaikoja.

Lopuksi lämmittimen korkea mekaaninen lujuus varmistaa, että se kestää fyysisiä rasituksia, jotka liittyvät lämpökiertoon ja alustan käsittelyyn. Tämä kestävyys minimoi mekaanisten vikojen riskin ja varmistaa luotettavan ja jatkuvan toiminnan.