Sähköstaattisen istukan (ESC) rakenne

AnSähköstaattinen istukka (ESC)on laite, jota käytetään pitämään puolijohdekiekkoja paikoillaan prosessien, kuten etsauksen, pinnoituksen tai kiillotuksen, aikana. Se toimii luomalla sähköstaattisen kentän, joka houkuttelee ja pitää kiekon tukevasti kiinni istukan pinnalla, mikä takaa vakauden ja tarkan kohdistuksen kiekkojen käsittelyn aikana. ESC:itä käytetään laajalti puolijohteiden valmistuksessa prosessin tarkkuuden ja kiekkojen käsittelyn tehokkuuden parantamiseksi.

Todellinen kuva perinteisestäsähköstaattinen istukka (ESC)on kuvattu kuvassa. Ensisijainen ero mallien välillä on sähköstaattisen istukan pinnalla oleva eristyskerrosmateriaali. Kuvassa tumma väri edustaa alumiininitridiä, kun taas valkoinen väri edustaa alumiinioksidia. Rakennesähköstaattinen istukkakoostuu useista osista:

1. **Eristekerros**: Tämä kerros on kosketuksessa kiekon kanssa, joka on tyypillisesti valmistettu alumiininitridi- tai alumiinioksidikeraamista niiden erinomaisen mekaanisen lujuuden, korkean lämpötilan kestävyyden ja hyvän lämmönjohtavuuden vuoksi.

2. **Ejektoritappi ja He-kaasuaukko**: Ejektoritappi on suunniteltu siirtämään kiekko. Kun kiekko tulee etsauskammioon, ejektorin tappi nousee tukemaan sitä ja sitten laskeutuu asettaakseen kiekon sähköstaattisen istukan pinnalle. Ejektoritapin rakenne on yleensä ontto, mikä mahdollistaa heliumkaasun lisäämisen kiekon jäähdyttämiseksi.

3. **Back He Flow Channel**: Tämä komponentti parantaa lämmön haihtumista ja helpottaa kiekon adsorptiota.

4. **Staattinen elektrodi**: Tämä elektrodi synnyttää sähkökentän, joka luo sähköstaattisen voiman, joka tarvitaan pitämään kiekko paikallaan. Tyypillisesti elektrodi on tasomainen ja joko upotettu eristemateriaaliin tai kerrostettu sen päälle. Yleisesti käytettyjä johtavia materiaaleja ovat alumiini, kupari ja volframi.

5. **Kiertävä jäähdytysvesi ja lämmityselektrodi**: Nämä elementit vastaavat ensisijaisesti sähköstaattisen istukan yleisestä lämpötilan hallinnasta. Lämmityselektrodi ja kiertävä jäähdytysvesi toimivat rinnakkain pitämään kiekon tasaisen lämpötilan. Pelkästään kiertävään jäähdytysveteen luottaminen voi johtaa siihen, että etsausprosessin aikana syntyvää lämpöä ei pystytä hallitsemaan, mikä saattaa vaarantaa prosessin vakauden.  

Semicorex tarjoaa korkealaatuistaSähköstaattinen istukka (ESC). Jos sinulla on kysyttävää tai tarvitset lisätietoja, älä epäröi ottaa meihin yhteyttä.

Puhelinnumero +86-13567891907

Sähköposti: sales@semicorex.com